Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9257029 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express ist ein resistiver Ätzreaktor für hochpräzise Anwendungen. Dieses fortschrittliche Tool bietet eine überlegene Kontrolle über Ätzparameter und ermöglicht feinere geätzte Geometrien auch bei komplexen Konstruktionen. Der Vector Express verfügt über eine Waferkapazität von 250 mm, die mit hohen Durchsatzraten betrieben werden kann. Ferner ist es mit einer Endurium™ Bondeinrichtung ausgebildet, die eine sehr zuverlässige Prozessverbindung zwischen dem Wafer und dem Vakuumfutter herstellt. Der Vektorexpress ist mit einem anpassbaren Roboterarm ausgestattet, der eine präzise Positionierung für den Ätzprozess ermöglicht. Dieser Roboterarm ist mit dem endurium™ Klebesystem gekoppelt und kann maximal 30 mm in X-, Y- und Z-Achsen bewegen. Das Tool bietet auch einen 3D-Scankopf, der die Waferform leicht erfassen und das Ätzprofil entsprechend anpassen kann. Der Vector Express verfügt über eine integrierte Steuereinheit, die es Anwendern ermöglicht, den Ätzprozess in mehreren Schritten zu programmieren, was eine feinjustierte Genauigkeit und Prozesskontrolle ermöglicht. Darüber hinaus ermöglichen die integrierten dualen (Plasma- und Biasquellen) und dualen HF-Generatoren es Benutzern, sehr komplexe dreidimensionale Muster mit sehr kleinen Linienbreiten und Eckabstimmbarkeit zu ätzen, ohne die isotropen Ätzeigenschaften zu beeinflussen. Die Maschine bietet auch eine gute Prozesswiederholbarkeit. Dies ist durch seine zwei zusätzlichen Kammern, die als Spül- und Abgaskammern dienen, möglich. Dies trägt zur Verringerung der Kammerverschmutzung bei und erhöht die Prozessstabilität im Laufe der Zeit. Diese zusätzlichen Funktionen kombiniert mit seinen vielseitigen Quellkonfigurationen bieten Anwendern überlegene Leistung und Prozessflexibilität. Darüber hinaus macht das kompakte Design und die leistungsstarke Leistung den Vector Express ideal für präzise Ätzprozesse und Anwendungen.