Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9281507 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express ist ein hochentwickelter Reaktor, der speziell entwickelt wurde, um Schichten aus dielektrischen Materialien auf Halbleiterscheiben abzuscheiden. Dieses innovative Design bietet einen hohen Durchsatz bei gleichbleibender Gleichmäßigkeit, so dass es die anspruchsvollsten Produktionsanforderungen erfüllen kann. Der Vector Express verfügt über einen zweistufigen Plasmareaktor mit zwei unterschiedlichen Bereichen. Der erste Bereich ist ein Hochvakuumbereich, der sowohl bei niedrigen als auch bei hohen Leistungen betrieben werden kann. Die hohe Leistung in dieser Kammer ermöglicht eine höhere Abscheidegeschwindigkeit und Gleichmäßigkeit der Materialabscheidung. Der zweite Bereich ist ein niedriger Vakuumbereich, der die Kontamination minimieren und die Gleichmäßigkeit kontrollieren soll. Der dritte Bereich im Vector Express ist der Abgasbereich, der entwickelt wurde, um die Wafer während der Verarbeitung vollständig zu isolieren und unerwünschte Partikel und Gase aus dem System zu entfernen. Der Vector Express-Reaktor besteht aus vier Hauptkomponenten: einer Vorwärmerkammer, einer Vorsputterkammer, einer Elektronenzyklotronresonanzkammer und einer Vakuumvakuumkammer. Die Vor-/Nachwärmerkammer verwendet Infrarotlampen und heißes Stickstoffgas, um den Wafer vor bzw. nach dem Vorsputterprozess zu erwärmen. Die Vorsputterkammer ist mit einem elektrostatischen Feld ausgestattet, das den Wafer auf einem niedrigen Leistungsniveau bombardiert, wodurch präzise und gleichmäßige Materialschichten abgeschieden werden können. Die Elektronenzyklotronresonanzkammer verwendet hochfrequente Radiowellen, um die Atome im Umgebungsgas zu einer Plasmaumgebung anzuregen, die zur Abscheidung von dielektrischen Materialien mit außergewöhnlichen Polarisationseigenschaften verwendet werden kann. Schließlich wird die Vakuumkammer verwendet, um eine äußerst saubere Umgebung für den gesamten Prozess zu schaffen, wodurch eine minimale Kontamination des abgeschiedenen Materials gewährleistet ist. NOVELLUS Concept 3 Vector Express von NOVELLUS ist ein revolutionärer Reaktor, der eine schnelle und präzise Abscheidung von Dielektrika auf Halbleiterscheiben ermöglicht. Dieses fortschrittliche Design reduziert drastisch die Zeit und die Ressourcen, die benötigt werden, um zuverlässige Chipsätze mit hoher Gleichmäßigkeit zu produzieren. Der Vector Express ist in der Lage, sowohl bei niedrigen als auch bei hohen Leistungsstufen zu arbeiten, was eine effizientere Abscheidung und eine höhere Gleichmäßigkeit des abgeschiedenen Materials ermöglicht, sodass der Reaktor die anspruchsvollsten Produktionsanforderungen erfüllen kann. Durch die Verwendung eines elektrostatischen Feldes, Hochfrequenzwellen und einer sauberen Umgebung ist der Vector Express in der Lage, eine sehr gleichmäßige Abscheidung von Materialien zu ermöglichen, so dass zuverlässige, Hochleistungs-Chipsätze hergestellt werden können.