Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9294929 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Express ist ein revolutionärer Plasmabearbeitungsreaktor, der die Kapazität und den Durchsatz für die Herstellung von Halbleiterbauelementen erhöht. Der Vector Express Reaktor nutzt eine innovative Architektur, um die Leistung komplexer Produktionsaufgaben zu maximieren. Es verwendet vier unabhängige Plasmaröhren, die jeweils Hochleistungsplasma liefern können, das dem einer Plasmaätzkammer im Vollmaßstab entspricht. Diese Plasmaröhren sind in ein modernes Design integriert, das die Prozesse puffert und eine effizientere Ereigniszeit, verbesserte Zykluszeiten und minimale Wartung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt Vector Express über einen Bordgaskrümmer, der die Plasmaquelle direkt mit inerten und reaktiven Gasen versorgt. Diese Funktion ermöglicht präzisere Prozessparameter und ermöglicht eine wesentlich längere Betriebszeit, was zu einem höheren Durchsatz und einer besseren Wiederholbarkeit führt. Der Vector Express verfügt auch über eine extrem robuste und zuverlässige Suszeptorplatte, die thermischen Schocks während der Nachkühlung standhält, sowie eine überlegene Gleichmäßigkeit der Gleichmäßigkeit der Ätzergebnisse bietet. Schließlich ist dieser Reaktor mit einem neuen, revolutionären System zur Druckregelung ausgestattet, das dafür sorgt, dass die Kammer immer unter optimalen Druckumgebungen arbeitet, was zu höheren Erträgen und verbesserter Produktqualität führt. NOVELLUS Concept 3 Vector Express sorgt für eine zuverlässige, hochleistungsfähige Plasmabearbeitungslösung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.