Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel #9410421 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel ist ein fortschrittlicher Abscheidungsreaktor, der eine präzise und effiziente Dünnschichtabscheidung von Hochleistungsmaterialien ermöglicht. NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel ist das neueste in einer Reihe von Reaktor-Designs, die die proprietäre Vector Sequel Technologie von NOVELLUS entwickelt verwenden. Diese Technologie basiert auf dem Prinzip der Vektorabscheidung, wobei eine kontrollierte Kombination von Abscheidungsgasen, verdampften Quellenmaterialien und Substrateintrag verwendet wird, um eine Schicht aus hochgleichmäßigen und präzisen Dünnschichtmaterialien zu erzeugen. Das mechanische Design von LAM RESEARCH Concept 3 Vector Sequel ist ein modulares, offenes Format, das eine schnelle und einfache Rekonfiguration und Wartung ermöglicht. Es verfügt über eine Abscheidekammer zum Erzeugen mehrerer Prozesskammern und eine Vielzahl von Prozesswerkzeugen, die in die Kammer integriert werden können. Diese Werkzeuge bestehen aus einem Massenstromregler, Blindschalter, Doppelreaktionskrümmer und einem PID-Regler. Concept 3 Vector Sequel verwendet auch eine spezielle computerbasierte Benutzeroberfläche (GUI), die verwendet wird, um die Betriebsparameter des Reaktors anzuzeigen und zu steuern. LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel wurde entwickelt, um eine breite Palette von Prozessparametern anzubieten, mit denen der Abscheidungsprozess an verschiedene Anwendungen angepasst werden kann. Dazu gehört die Fähigkeit, die Materialabscheiderate, Temperatur und Druck des Verfahrens zu modifizieren, sowie die Fähigkeit, Belichtungs- und Verweilzeiten für eine optimale Dünnschichtabscheidung einzustellen. Die allgemeine Flexibilität des NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel Reaktors ermöglicht die Abscheidung einer Vielzahl von Materialien, darunter Oxide, Salze und Metalle. LAM RESEARCH Concept 3 Vector Sequel umfasst auch eine Reihe weiterer fortschrittlicher Funktionen, wie eine Hochtemperaturoption, Kammerreinigungsmöglichkeiten und eine gleichgewichtige Gasversorgung mit Inline- und In-situ-Gasanalysatoren zur Überwachung von Prozessbedingungen. Mit seiner Kombination aus fortschrittlicher Abscheidetechnologie, hochwertigen Materialien und Prozessflexibilität ist Concept 3 Vector Sequel ein leistungsstarkes und vielseitiges Werkzeug für die Abscheidung von Dünnschichtschichten. Abschließend ist LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel ein vielseitiger Abscheidungsreaktor, der eine Vielzahl von Verarbeitungsmöglichkeiten zur Optimierung der Dünnschichtabscheidung bietet. Sein modulares Design, fortschrittliche Prozesswerkzeuge und eine benutzerfreundliche Computeroberfläche machen es zu einer attraktiven Lösung für eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungsbedürfnissen. NOVELLUS Concept 3 Vector Sequel ist mit seiner effizienten Leistung, dem breiten Materialspektrum und der Präzisionskontrolle ein ideales Abscheidungswerkzeug für Forschung und Produktion.