Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector #9261720 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector ist ein Reaktortyp, der für verschiedene Prozessanwendungen wie chemische Dampfabscheidung (CVD) und Atomschichtabscheidung (ALD) entwickelt wurde. Dieser fortschrittliche CVD/ALD-Reaktor verfügt über eine Drei-Zonen-thermische Umgebung und bietet die Möglichkeit, die Prozessbedingungen mit drei Heiz- und Kühlplatten anzupassen. NOVELLUS Concept 3 Vector ist mit einer Niederdruck-Plasmaquelle konzipiert, die eine 13,56 MHz induktiv gekoppelte Plasmakonfiguration (ICP) aufweist. Dies ermöglicht eine gleichmäßige Plasmaerzeugung und niedrige ultraviolette Strahlung für eine verbesserte Prozesswiederholbarkeit bei gleichbleibender Teilchengröße und Abscheidungszusammensetzung. LAM RESEARCH Concept 3 Vector ermöglicht eine schnelle Prozesskammer-Evakuierung, reduziert den Zeitaufwand für den Prozesszyklus und reduziert die Rauheit von Filmen. Darüber hinaus verfügt das Konzept 3 Vector über ein überlegenes Reaktionsgasverteilungssystem, das hochwertige Filme durch einen gleichmäßigen Reaktionsgastransport liefert. LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector ist auch mit einem ultra-niedrigen Oxidationssystem konzipiert. Es verwendet eine dreischichtige Spule für oxidreduzierende Leistung und niedrige Betriebskosten. Darüber hinaus ist NOVELLUS Concept 3 Vector mit fortschrittlichen thermoelektrischen Modulen ausgestattet, die schnelle Zieltemperaturzonen und eine passende Temperatur mit Wiederholbarkeit und Genauigkeit gewährleisten. LAM RESEARCH Concept 3 Die programmierbaren Logikcontroller (SPS) von Vector bieten eine leistungsstarke Prozesssteuerung, die präzise und wiederholbare Prozessrezepte ermöglicht. Sein außergewöhnliches Design macht Concept 3 Vector zu einer idealen Option für die Verarbeitung von Materialien wie Photovoltaik-Solarzellen, Dünnschichttransistoren und Gate-Dielektrika. LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector bietet hervorragende Folieneinheitlichkeit bei gleichzeitig schneller Verarbeitungszeit und überlegener Prozesswiederholbarkeit. Sein revolutionäres Design macht es auch zu einer großartigen Option für Ultra-High-Density-Speicher, mikro-elektromechanische Systeme (MEMS) Gießerei und BiCMOS-Wafer. Mit seinen außergewöhnlichen Eigenschaften bietet NOVELLUS Concept 3 Vector eine verbesserte Geräteleistung und verbesserte Produktionserträge. Die daraus resultierenden Vorteile der Endanwender machen LAM RESEARCH Concept 3 Vector zu einem effektiven Reaktor für verschiedene Fertigungsprozesse.