Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector #9261722 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector (C3V) ist eine branchenführende Plasmareaktor-Technologie zur Herstellung hochwertiger reaktiver Ionen für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Diese Technologie ist in der Lage, hochenergetische Ionen mit hohen Abscheidungsraten zu produzieren, was eine ultrahohe Abscheidungsgleichförmigkeit über große Flächen ermöglicht. Der C3V Reaktor besteht aus einer hufeisenförmigen Hauptkammer, die von einer Reihe kreisförmiger Gitter und Kanäle umgeben ist. In der Mitte der Hauptkammer befindet sich eine ringförmige Kathode, an der ein elektrisches Feld angelegt wird. Ionen werden in diesem elektrischen Feld durch den Aufprall eines neutralen Gases, wie Argon, auf die Kathode erzeugt. Diese Ionen werden dann durch eines der kreisförmigen Gitter gelenkt und durch eine Reihe von gepulsten Feldern unterschiedlicher Stärke und Länge geleitet. Diese orchestrierte Folge von Impulsfeldern ermöglicht es dem C3V Reaktor, einen hochenergetischen Ionenstrahl äußerst gleichmäßig zu erzeugen. Um seine Leistung zu maximieren, ist der C3V Reaktor mit einem Kühlsystem ausgestattet, das dabei hilft, durch das elektrische Feld erzeugte Wärme abzuführen, sowie mit einer automatischen Druckregelung, die einheitliche Prozessbedingungen in der gesamten Kammer aufrechterhält. Darüber hinaus verfügt die C3V über mehrere unabhängige Detektionssysteme, die Energie, Spezies und Intensität des Ionenstrahls in Echtzeit messen, um eine gleichmäßige Abscheidung und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Neben seiner hohen Leistungsfähigkeit ist C3V einfach zu warten und zu bedienen, was es zu einer ausgezeichneten Wahl für eine breite Palette von Fertigungsanwendungen macht. Das fortschrittliche Steuerungssystem des Reaktors ermöglicht auch die Fernüberwachung und -steuerung, und alle Betriebsparameter können für eine optimale Prozessleistung angepasst werden. Insgesamt läuft das C3V effizient und zuverlässig und liefert großflächige Abscheidungsgleichmäßigkeit, Erträge und Lebenszyklusleistung mit hohen Erträgen. Der C3V Reaktor ist die branchenführende Lösung für viele Halbleiterherstellungsprozesse.