Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector #9375284 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector ist ein plasmaverbesserter chemischer Dampfabscheidungsreaktor, der für die globale Halbleiterherstellungsindustrie entwickelt wurde. Es wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten Anforderungen fortschrittlicher Technologieknoten zu erfüllen und eine ungleiche Leistung zu bieten. NOVELLUS Concept 3 Vector verfügt über eine einzigartige Duschkopf- und Etch Tube-Architektur mit hohem Seitenverhältnis, die es ermöglicht, kleinstmögliche Funktionsgeometrien mit ausgezeichnetem Durchsatz zu verarbeiten. Die konstruierte Einheitlichkeit und das fortschrittliche Kammerdesign bieten ein hohes Maß an Wiederholbarkeit, wodurch Kunden die Fehlerquoten von Endprodukten reduzieren und ihre Produktionsbedürfnisse rationalisieren können. LAM RESEARCH Concept 3 Vector nutzt ein flexibles HF-Netzteil mit umfassender Leistungssteuerung, Anhänger, Off-Gas-Fraktionierung und Pre-Seeding-Fähigkeiten. Es bietet eine unübertroffene Vielseitigkeit und kann konfiguriert werden, um mit einer Vielzahl von Kammern, Kammergrößen und Substratmaterialien zu arbeiten. Concept 3 Vector wurde entwickelt, um die höchsten Anforderungen an Prozesstemperatur und Temperaturgleichförmigkeit der heutigen fortschrittlichen Technologieknoten zu erfüllen. Es umfasst auch fortschrittliche Kühltechnologien, die eine engmaschige Prozesskontrolle ermöglichen und höchste Produktqualität und Erträge gewährleisten. LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector bietet zudem eine umfangreiche Flexibilität bei der Gasströmung. Mit seiner umfassenden Gasleitungs- und Verteilungstechnologie kann der Vector jede filmbildende Vorstufe präzise verwalten und Unterstützungsgase benötigen, so dass es einfach ist, sich auf eine Vielzahl von Prozessen einzustellen. Schließlich verfügt NOVELLUS Concept 3 Vector über umfassende Diagnose- und Embedded-Tools, die es Anwendern ermöglichen, ihre Prozesse auf höchstem Niveau der Kontrolle, Genauigkeit und Konsistenz zu optimieren. Von der Gasleitungssteuerung über die Temperaturprofilierung bis hin zur Prozessoptimierung und vorausschauenden Wartung bietet LAM RESEARCH Concept 3 Vector seinen Kunden die Werkzeuge, die sie benötigen, um die Grenzen der Innovation zu erweitern.