Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS EFX MOD C for Concept 3 Altus #293625749 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS EFX MOD C für Concept 3 Altus ist ein hochpräziser, vielseitiger Ätzreaktor für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Die erweiterten Funktionen des EFX Mod C bieten eine effiziente und wiederholbare Steuerung der Ätzchemie und der Prozessparameter. Es ist mit einer hochmodernen, durchsatzstarken, direkt angetriebenen Mehrzonenkammer konzipiert, um die Ätzratenvariation zu minimieren und das Maskenspitzen zu vermeiden. Die Mehrzonenkammer weist drei Längs- und zwei Querzonen auf, die alle unabhängig voneinander ausgebildet sein können. Eine Dual-Source-Gasförderausrüstung, kombiniert mit einstellbaren Make-up-Gaswerten, bietet die Möglichkeit, den Plasmaätzprozess zu steuern und fein abzustimmen. Ein verteiltes elektrostatisches Spannfutter erzeugt ein gleichmäßiges Feld am Ende, um ein gleichmäßiges Ätzen zu gewährleisten. Der EFX Mod C ist mit einem Stromversorgungssystem ausgestattet, das eine höhere Prozessflexibilität und Kontrolle ermöglicht. Dies wird durch ein patentiertes Frequenzschaltverfahren erreicht, das eine Prozesssteuerung und Steuerung der Ätzratenvariabilität ermöglicht. Die Kammer ist auch mit einer fortschrittlichen Kühleinheit ausgelegt, die den Einsatz von Hochtemperaturätzverfahren mit minimaler thermischer Schädigung des Substrats ermöglicht. Durch sorgfältige Regelung von Druck, Durchfluss und Temperatur des Kühlgases bleiben die Aluminiumsubstrate unbeschädigt und das Silizium bleibt gleichmäßig strukturiert. Der EFX Mod C unterstützt die Verwendung von chlor- und fluorbasierten Ätzchemien. Der EFX Mod C ermöglicht es dem Anwender, die relativen Chemie- und Ätzraten zu steuern und zu überwachen. Der EFX Mod C ist ein leistungsstarkes Werkzeug zur Steuerung präziser Ätzprozesse in der fortschrittlichen Halbleiterbauelementherstellung. Mit seiner Dual-Source-Gasliefermaschine, dem einstellbaren Make-up-Gasspiegel, dem verteilten elektrostatischen Spannfutter und dem fortschrittlichen Kühlwerkzeug bietet es Benutzern Kontrolle und Vorhersehbarkeit, die erforderlich sind, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen. Der EFX Mod C hat sich seinen Platz als branchenführender Ätzreaktor verdient und bietet Anwendern eine verbesserte Ätzfrequenz, geringere thermische Schäden und mehr Prozessflexibilität.