Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS SABRE XT #293610192 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS SABRE XT Reaktor ist eine hochpräzise, Niederdruck-Plasmabearbeitungsanlage für fortschrittliche Halbleiterherstellungsprozesse. Durch Verwendung von Hochfrequenzplasma und erhöhten Substrattemperaturen ist dieser Reaktor in der Lage, Oberflächenmodifikations- und Ätzprozesse durchzuführen. Der NOVELLUS SABRE XT Reaktor ist auf einer Produktionsplattform aufgebaut und verfügt über eine proprietäre HF-Quelltechnologie, die eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit und -kontrolle sowie eine verbesserte Plasmagleichförmigkeit ermöglicht. Es erreicht ausgezeichnete Oberflächenqualität und Sub-Angstrom-Kontrolle über Ätzprozesse. Das Substrat wird durch eine Quarzheizplatte beheizt, die Temperaturen bis 1000 ° C erreichen kann. Die Prozessgase werden über einen Inline-Gaskasten in die Ätzkammer eingeleitet. Die Gaskastenleitungen sind mit GGA (Gas Gauge Assembly) mit Gasdurchflussmessern, Trennventilen und Schnellanschlussarmaturen für eine einfache Wartung verbunden. Der Reaktor ist für die Chargenverarbeitung ausgelegt und kann bis zu vier Substrate gleichzeitig verarbeiten. LAM RESEARCH SABRE XT ist zudem mit einem wartungsarmen Lastschloss und Kassettenhandler sowie einem temperaturgeregelten Prozessgasverteilerkasten ausgestattet. Darüber hinaus verfügt das System über eine ausgeklügelte automatisierte Steuereinheit zur Überwachung der Prozessparameter, die schnellere Verarbeitungszeiten, höhere Erträge und erhöhte Prozesswiederholbarkeit und -stabilität ermöglicht. Die fortschrittliche Leistungs-, Steuerungs- und Verarbeitungskonsistenz der Maschine macht den SABRE XT Reaktor zu einer kostengünstigen und zuverlässigen Ätzlösung für die fortschrittliche Halbleiterproduktion. Seine Niederdruck-Plasmaquelle, Quarzheizplatte, gleichmäßige Temperaturverteilung und Inline-Gashandhabung machen es zu einer idealen Wahl für die Herstellung von Nanogeräten.