Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9167146 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed ist ein revolutionärer Chargenreaktor, der maximale Flexibilität, maximalen Durchsatz, überlegene Kontrolle und überlegene Abscheidungsgleichmäßigkeit in einem effizienten und benutzerfreundlichen Design bietet. Dieser Reaktor markiert einen großen Fortschritt in Richtung Lithographie-Integration für fortgeschrittene IC-Design und Fertigung. Dieser fortschrittliche Reaktor führt Operationen wie Ätzen, Abscheiden und Reinigen innerhalb einer Plattform durch und ermöglicht gleichzeitig eine lokale Anpassung der Kapazität und Komplexität der Produktion. Der Reaktor arbeitet mit einer Kombination von mehreren computergesteuerten Prozessgasen, die die benutzerdefinierte Modifizierung von Oberflächen mit fortschrittlichen Materialien wie Siliziumnitrid, Polysilizium und Wolfram, zusammen mit amorphen und Sputtermaterialien ermöglichen. Der Reaktor ist mit mehreren einzigartigen Modulen ausgestattet, die einen schnelleren, kontrollierteren und effizienteren Prozess ermöglichen. Das primäre Modul ist das Dual Electrode System (DES). Das DES bietet eine äußerst präzise Kontrolle der Prozessbedingungen und ermöglicht gleichzeitig einen höheren Durchsatz. Der Reaktor ist auch mit dem Düsensystem „Split Jet“ ausgestattet, das die Abscheideeigenschaften für eine Vielzahl von Materialien optimiert. Die Düse ermöglicht auch eine gleichmäßigere Schichtabdeckung und eine bessere Reinigungsleistung über den gesamten Geschäftswafer. NOVELLUS Die Geschwindigkeit dieses Reaktors wird durch den Einsatz seines automatischen highLAM RESEARCH Speed Roboters zur Handhabung von Wafern und anderen Prozesskomponenten weiter erhöht. Dieser Roboter erhöht den Durchsatz, reduziert die manuelle Arbeit und beseitigt die Möglichkeit einer Kontamination. Das einzigartige Cross-Flow-Design des Reaktors ist extrem effizient und bietet eine maximale Wafer-Verarbeitungsgeschwindigkeit. Der Reaktor ist auch mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, wie einem elektrischen und chemischen Verriegelungssystem, einem Notabschalter, einer konfigurierbaren Prozesshandhabung und Inertgas-Interlocks. NOVELLUS Reactor bietet ein benutzerfreundliches Design und eine überlegene Prozesssteuerung. Der Reaktor ist so gebaut, dass er mit anderen Prozesskomponenten integriert werden kann, so dass fortschrittliche Halbleiter mit maximaler Effizienz und Flexibilität hergestellt werden können.