Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9353432 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed ist eine reaktive Verarbeitungsanlage, die verwendet wird, um High-End-Verarbeitungsleistung und -Effizienz bei der Durchführung komplexer, hochtemperatur- und hochreiner chemischer Prozesse zu bieten. Es arbeitet bei einer maximalen Temperatur von bis zu 600 ° C und ist so konzipiert, dass es zuverlässig ist und ein hohes Maß an Systemleistung und Qualitätskontrolle bietet. Die Kernkomponenten des NOVELLUS Speed Reaktors sind eine Prozesskammer, zwei Gasquellen, eine Plasmaquelle und mehrere Waferbacköfen. Die Kammer ist aus einer robusten Edelstahlschale aufgebaut, die die notwendige Isolierung unterstützt, um den für die Verarbeitung erforderlichen hohen Temperaturen standzuhalten. Innerhalb der Kammer befindet sich eine rotierende Platte, die einen Suszeptor mit den zu bearbeitenden Wafern hält. Die Doppelgasquellen liefern die gewünschten Prozessgase, die für jeden Verfahrensschritt benötigt werden. Die Plasmaenergiequelle dient zur Erzeugung eines hochintensiven Plasmas zur weiteren Verfeinerung der Prozessgase, um eine präzise Steuerung der Prozessparameter zu erreichen. Die Öfen dienen zur Vorwärmung und Nachwärmung von Wafern, um eine verbesserte Verarbeitung zu erreichen und gewünschte Ergebnisse zu erzielen. Für plasmaverbesserte Prozesse kann LAM RESEARCH Speed eine Vielzahl verschiedener Gase behandeln, einschließlich Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon, Ammoniak, Chlor und einer Vielzahl anderer Verbindungen. Für physikalische Aufdampfprozesse ist Speed mit verschiedenen Verflüchtigungsquellen wie Elektronenstrahlen, Lampen und Quarzschiffen ausgestattet. LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed bietet außergewöhnliche Leistung in Bezug auf die Verarbeitungsgeschwindigkeit von NOVELLUS (aufgrund seiner schnellen Temperaturanstiegsgeschwindigkeit), die Gleichmäßigkeit der Kammer und die Fähigkeit, eine extrem niedrige, niedrige Energieumgebung zur Schaffung eines stabilen Prozesses bereitzustellen. Darüber hinaus kann LAM RESEARCH Speed durch seine vielfältigen Plasmaquellen, fortschrittliche Steuerungssysteme und eine ausgeklügelte Metrologieeinheit eine überlegene Prozessleistung in Bezug auf Abscheidungsraten, Gleichmäßigkeit und Wafererträge erzielen. Geschwindigkeit ist eine ideale Wahl für diejenigen, die eine Lösung für fortschrittliche Prozessfertigung und Geräteherstellung suchen. LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed bietet robuste Konstruktion, Präzisionskontrollen und hervorragende Prozessqualität und ist damit eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die eine zuverlässige und leistungsstarke Bearbeitungsmaschine suchen.