Gebraucht LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector XT #293627660 zu verkaufen

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT ist ein hochleistungsfähiges, vollautomatisiertes Plasmaätz- und Abscheidungssystem für die Herstellung von 3D-Materialien. NOVELLUS Vector XT bietet höchste Geschwindigkeit, höchste Genauigkeit und niedrigsten Gasverbrauch, um ertragreiche, wirtschaftliche und nachhaltige Prozesse zu ermöglichen. LAM RESEARCH Vector XT ist ein in sich geschlossenes Batch-Bearbeitungswerkzeug mit integriertem Gas/Vakuum-Verteiler, das den gleichzeitigen Einsatz von bis zu zwölf Prozessgasen ermöglicht und eine große Flexibilität bei den Herstellungsanforderungen ermöglicht. Sein modularer Aufbau bietet eine überlegene Prozesssteuerung und bietet Anwendern geringere Betriebskosten, hohen Durchsatz und wiederholbare Prozesse. Vektor XT Reaktor Vakuumkammer ist eine zylindrische Edelstahlkonstruktion mit einem Durchmesser von 10 Zoll. Seine hermetische Dichtung wird durch eine Kombination von manuellen Riegeln und einer niederdruckgefüllten, stickstoffgefüllten Spüllösung aufrechterhalten. Wenn das Werkzeug ein neues Prozessgas benötigt, kann es vor dem Abpumpen in den Boden der Kammer geladen werden, was schnelle und effiziente Übergänge ermöglicht. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT umfasst einen der schnellsten Dual-Achsen „z-theta“ Manipulatoren (Roboterarme), die zur Einstellung des Winkels des Substrats zur Verfügung stehen und eine feinjustierte Steuerung des Prozesses ermöglichen. Die integrierte digitale Prozesssteuerung enthält eine Reihe von dedizierten und integrierten Hardware- und Softwarekomponenten, die eine automatisierte Ausführung von Ätz- und Abscheideprozessen ermöglichen. Dies kann Temperaturregelung, reaktive Gasratenregelung, HF-Stromversorgung, Druckkurven, Gassequenzierung und Gaszusammensetzung umfassen. Die Dual-Frequenz-HF-Stromquelle kann bis zu 450 Watt liefern, während die alternierend gepulste DC-Stromquelle bis zu 300 Watt bietet. Das Bedienterminal von NOVELLUS Vector XT wurde mit einer benutzerfreundlichen Schnittstelle entwickelt und bietet eine Reihe von Funktionen, darunter Einrichtung, Prozessauswertung, Datenüberprüfung, Passwortschutz und Umschaltung zwischen manuellen und automatischen Modi. Auch Sicherheitsmerkmale sind reichlich vorhanden, darunter Näherungssensoren, ein Lampensystem und ein Druckmonitor. Die Lampen sind so konfiguriert, dass sie Kammerdruck, Systemstatus, Gaserkennung und Gashandhabung anzeigen und so die Sicherheit des Bedieners gewährleisten. LAM RESEARCH Die Kammergröße von Vector XT ist groß genug für mehrere Substrate, die in Größen bis zu 450mm mal 450mm mal 300mm variieren können, wodurch sie für Wafer, PR-Substrate, MEMS-Geräte und andere komplexe Substrate geeignet ist. Seine proprietäre Düsengeometrie ermöglicht eine Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit bei Ätz- und Abscheideprozessen mit einer beeindruckenden Abscheiderate von 20 Angström/Sekunde. Abschließend ist Vector XT ein vielseitiger und langlebiger Atmosphärendruck-Plasmareaktor, der für eine Vielzahl von Ätz- und Abscheidungsprozessen geeignet ist. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und der Fähigkeit, mit mehreren Substraten zu arbeiten, bietet LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT Benutzern saubere, wiederholbare Ergebnisse mit reduzierten Betriebskosten.