Gebraucht LAM RESEARCH Sabre 3D #293620476 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293620476
Weinlese: 2014
Wet process equipment, 12"
CIM: SECS GEM
Process: 3D Cu plating
Chemical analysis unit
Chiller
(2) Standard front and central robot
(3) FOUP
(4) Duets
With (3) baths (60 L, 60 L and120 L)
2014 vintage.
LAM RESEARCH Sabre 3D ist ein fortschrittlicher Reaktor, der bahnbrechende Ätz- und Abscheidungsprozesse ermöglicht und überlegene Fertigungsfähigkeiten in einer Vielzahl von Branchen ermöglicht. Es verfügt über zwei modulare Kammeroptionen, die sowohl zur Skalierung mit hohem Seitenverhältnis als auch zu dreidimensionalen (3D) Architekturen geeignet sind. Sabre 3D verfügt auch über einen Autodeposition-Prozess, der niedrige Betriebskosten bei minimalem Wartungsaufwand ermöglicht. Mit fortschrittlichen Hardware- und Softwareoptimierungen sorgt der Reaktor für die hochwertige Leistung, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit, die sowohl für Anwendungen auf Produktionsebene als auch für Anwendungen auf Forschungsebene benötigt werden. Zu den Hauptmerkmalen von LAM RESEARCH Sabre 3D gehören seine überlegene Ätzgenauigkeit und Überlappungssteuerung, eine robuste Abscheidegeschwindigkeit und eine gute Gleichmäßigkeit sowie die vielseitige Materialkompatibilität. Seine Time-to-Market wird durch modulare Kammeroptionen, Autodeposition-Prozess und fortschrittliche Hardware-/Software-Optimierung weiter verbessert. Für die Ätzgenauigkeit nutzt der Reaktor ein neuartiges HF-Magnetfeld und isotrope, symmetrische Ätzprofile zur verbesserten Prozesswiederholbarkeit. Für Abscheidegeschwindigkeit und Gleichmäßigkeit ermöglicht Sabre 3D eine hohe Filmwachstumsrate und konforme Filme mit hervorragenden Planarisierungseigenschaften. Das gesamte System ist für eine optimale Nutzung optimiert, so dass ausgezeichnete Ätz- und Abscheideprozesse in kürzerer Zeit mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit abgeschlossen werden können. Darüber hinaus sind seine Hardwarekomponenten als eine integrierte Einheit konzipiert, die eine optimierte Leistung und Benutzerfreundlichkeit bietet. Es nutzt eine Drei-Gas-Einspritzfähigkeit, was zu einem höheren Wirkungsgrad als Zwei-Gas-Systeme führt. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH Sabre 3D über eine dynamische Druck- und Temperaturregelung, die es dem Reaktor ermöglicht, über eine Vielzahl von Betriebseinstellungen zu arbeiten und gleichzeitig höchste Präzision und Wiederholbarkeit zu erzielen. Aus Sicht der Materialverträglichkeit eignet sich Sabre 3D hervorragend zum widerstandsbasierten Ätzen und Abscheiden und ist für die Steuerung kritischer Dimensionen (CD), die Gleichmäßigkeit der Funktionen und die Filmabdeckung optimiert. Der Reaktor kann auch für andere Folien wie Dielektrika, Leiter und Isolatoren verwendet werden, wodurch er für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist. Zusammenfassend ist LAM RESEARCH Sabre 3D ein fortschrittlicher Reaktor, der bahnbrechende Ätz- und Abscheidungsprozesse ermöglicht. Es verfügt über zwei Optionen von modularen Kammern und fortschrittliche Hardware/Software-Optimierung mit ausgezeichneter Ätzgenauigkeit und Überlappungssteuerung und hohe Abscheidegeschwindigkeit und Gleichmäßigkeit. Seine ausgezeichnete Materialverträglichkeit und dynamische Druck- und Temperaturregelung ermöglicht es dem Reaktor, über eine breite Palette von Betriebseinstellungen für höchste Präzision und Wiederholbarkeit zu arbeiten, und sein Autodeposition-Prozess ermöglicht eine hohe Fertigungsgeschwindigkeit bei minimalem Wartungsaufwand.
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