Gebraucht LAM RESEARCH Sabre 3D #9300020 zu verkaufen

LAM RESEARCH Sabre 3D ist eine dreidimensionale induktiv gekoppelte reaktive Sputter-Abscheidekammer, die eine präzise Sputter-Abscheidung von dünnen Filmen ermöglicht. Der einzigartige hocheffiziente Dichtesteuerungsmechanismus von Sabre 3D ermöglicht die Abscheidung von Partikeln exakter Dicke und Zusammensetzung, wodurch die Filmabscheidung besser kontrolliert werden kann. LAM RESEARCH Die leistungsstarke induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP) von Sabre 3D erzeugt ein intensives Energiefeld, das dazu führt, dass Partikel mit hoher Geschwindigkeit aus dem Zielmaterial gesputtert werden. Dies gewährleistet eine gleichmäßige und gleichmäßige Filmabscheidung, was zu einer hervorragenden Beschichtungsleistung führt. Sabre 3D hat zwei unabhängige Plasmaquellen, eine in der unteren Kammer und die andere in der oberen Kammer montiert, so dass die Abscheidung von Material auf zwei Substraten im gleichen Lauf. Die Hauptvorteile gegenüber herkömmlichen Sputtersystemen sind die höheren Abscheideraten, eine verbesserte Gleichmäßigkeit und eine verringerte Defektivität. Neben der hohen Abscheidungsrate bietet LAM RESEARCH Sabre 3D auch hervorragende Oberflächenvorbereitungs- und Ätzfähigkeiten. Die vernetzten Kathoden und die innovative Filamentgeometrie schaffen ein intensives Feld für Plasmaätzen, was zu einer überlegenen Oberflächenvorbereitung und verbesserter Filmgleichförmigkeit führt. Sabre 3D kann auch zum Ätzen der Substrate vor der Abscheidung verwendet werden, was eine hohe Produktivität und eine verbesserte Prozesskontrolle ermöglicht. LAM RESEARCH Sabre 3D kommt auch mit erweiterten Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen. Es ist mit einem fortschrittlichen Steuerungssystem ausgestattet, das Prozessparameter ständig überwacht und eine größere Kontrolle über diesen kritischen Schritt der Filmabscheidung ermöglicht. Auch Prozesssteuerungswerkzeuge wie Prozessabstimmung, automatisierte Prozesssteuerung und statistische Prozesssteuerung (SPC) sind leicht verfügbar. Insgesamt ist Sabre 3D eine sehr vielseitige und effiziente induktiv gekoppelte reaktive Sputterabscheidungskammer, die eine präzise Sputterabscheidung von dünnen Filmen ermöglicht. Die fortschrittlichen Funktionen der Prozessüberwachung und -steuerung, die überlegene Oberflächenvorbereitung und das Ätzen sowie die hervorragende Abscheidegeschwindigkeit machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für anspruchsvolle Dünnschichtabscheidungsanwendungen.