Gebraucht LAM RESEARCH Sabre #9167356 zu verkaufen

LAM RESEARCH SABRE ist eine Art Plasmaätzreaktor, der entwickelt wurde, um fortschrittliche Plasmaätzlösungen zu liefern. Das System ist eines der ersten in der Branche, das sowohl Niederdruck- als auch Hochdruck-Plasmaprozesse in derselben Maschine bereitstellt, wodurch Kunden Zeit und Geld sparen können. Das Hochdruckätzverfahren ist ideal für Anwendungen wie Kontakt- und Metallätzen und das Niederdruckverfahren ist ideal für das Ätzen von dielektrischen Materialien. Der Reaktor ist ein fertiger Trockenätzer, d.h. er kann Nieder- und Hochdruckätzverfahren bereitstellen, ohne dass zusätzliche Gasverteilsysteme (GDS) erforderlich sind. SABRE bietet eine hervorragende Gleichmäßigkeit auf allen Ebenen des Wafers und sorgt für höhere Erträge und hochwertigste Teile. Es verfügt auch über die Eckquartett-Technologie, die höhere Produktqualität über größere Geometrien mit minimalen Prozessschritten bietet. LAM RESEARCH SABRE bietet auch Funktionen wie schnelle Ätzraten, hervorragende Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit, integrierte Prozessdatenbankunterstützung und die Möglichkeit, in wenigen Minuten für verschiedene Rezepte kalibriert zu werden. Der Reaktor bietet auch eine komplette Integration mit Automatisierungssystemen auf Fab-Ebene wie iMap, was das System zu einer perfekten Wahl für automatisierte Fabs macht. Die integrierte Software sowie die SWL-Funktion (Single-Wafer Loading) von SABRE ermöglichen hohen Durchsatz und Flexibilität bei einfacherem Setup und Bedienung. Mit der SWL-Funktion können Benutzer die entsprechende Ätzkammertemperatur, den Zieldruck, die Vorfüllgasdurchflussrate und das Prozessrezept auswählen. Dies spart Anwendern wertvolle Zeit und eliminiert manuelle Arbeit. LAM RESEARCH SABRE wurde entwickelt, um Prozesssicherheit, Stabilität und Produktivität zu verbessern. Es bietet schnelle Werkzeugstartzeiten und robuste Rezepte, die es Anwendern ermöglichen, die Produktivität zu steigern und Kosten zu senken. Die integrierte Prozessdatenbank, die automatisierte Rezeptentwicklung und die Eckquartett-Technologie machen das System benutzerfreundlich, zuverlässig und flexibel. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für jeden Plasmaätzbedarf.