Gebraucht LAM RESEARCH SOLA #9312000 zu verkaufen

LAM RESEARCH SOLA ist eine hochmoderne Reaktortechnologie, die darauf ausgelegt ist, die Leistung der Halbleiterproduktion und die Ausbeute der Bauelemente zu maximieren. Die SOLA-Technologie ist eine plasmaverbesserte CVD (PECVD) -Abscheidungsausrüstung, die eine überlegene Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Abscheidungsgeschwindigkeitskontrolle bietet. Das System ist in der Lage, bei niedrigem Druck zu arbeiten, um hochwertige Folien mit außergewöhnlicher Konformität und Schrittabdeckung zu erreichen. Das Gerät nutzt vier unabhängig voneinander gesteuerte Gasquellen für eine Reihe von Abscheidekonfigurationen. Zur präzisen Synchronisation aller Reaktanden ist eine fortschrittliche Zeitmessmaschine integriert, die das Wachstumsprofil der Folie steuert. Die Prozesskammer kann auch mit einer Reihe von Zubehörteilen wie Brauseköpfen zur gleichmäßigen Gasverteilung oder einer Reihe von Einspritzmodulen ausgebildet sein, um eine hochpräzise Ziel- und Quellgasdosierung zu ermöglichen. Das Werkzeug verfügt auch über eine fortschrittliche thermische Steuerung, die sowohl eine schnelle Erwärmung/Kühlung bei gleichmäßiger niedriger Temperatur ermöglicht. Dies hilft, hohe Ausbeuten aus zuverlässigen Abscheideprozessrezepten ohne unnötige thermische Beanspruchung zu erzielen. Das Modell der thermischen Steuerung verwendet eine Kombination aus Infrarotheizgeräten, Turbomolekularpumpen und kalten Kathoden, um die Prozessumgebung zu verwalten. Darüber hinaus ist die Anlage mit zahlreichen Sicherheits- und Überwachungssystemen ausgestattet, um eine optimale Steuerung der Prozessparameter zu gewährleisten und das Personal vor potenziellen Gefahren zu schützen. Das System umfasst Lecksucher, Verriegelungen und eine Reihe von Prozesssteuerungsalarmen, die dazu beitragen, den Betrieb der Prozesseinheit zuverlässig zu steuern und zu überwachen. Insgesamt ist LAM RESEARCH SOLA eine hochmoderne Technologie, die zuverlässig und wiederholbar ist und eine überlegene Gleichmäßigkeit, Abscheidungsratenkontrolle und Filmqualität bietet. SOLA eignet sich aufgrund seiner überlegenen Leistung für Anwendungen in unterschiedlichsten Branchen, von der Optoelektronik bis zur Spezialchemie.