Gebraucht LAM RESEARCH SOLA #9314232 zu verkaufen

LAM RESEARCH SOLA Reaktor ist ein fortschrittliches, hochmodernes, flexibles, plasmabasiertes Abscheidungswerkzeug zur atomaren Materialabscheidung. Es ist in erster Linie für eine Vielzahl von Halbleiter- und Oberflächentechnikanwendungen wie Dünnschichtabscheidung, elektrostatisches Sputtern und ultradünne Filmabscheidung konzipiert. Dieses Tool verwendet eine nicht aktivierte Dual Source Dual Electrode Plasma (NADSPL) -Architektur, um eine hochpräzise und wiederholbare Abscheidung sehr dünner Filme (typischerweise weniger als 0,01 Hyper Nanometer) zu ermöglichen. Im SOLA auf NADSPL-Basis werden zwei unabhängige HF-Quellen verwendet, um zwei unterschiedliche Plasmaquellen zu erzeugen; eine für den Hauptabscheidevorgang und eine für das Ätzen des Werkstücks. Das Design von LAM RESEARCH SOLA bietet eine Ein-Reaktor-Dual-Plasma-Funktionalität in einem einzigen Paket, was signifikante Prozessdurchsatzsteigerungen ermöglicht. SOLA bietet auch erweiterte Ionisationssteuerung sowie eine Reihe von Multi-Leistungs- und Multi-Position-Plasmaquellen. Multi-Power-Quellen ermöglichen die Optimierung des Waferprofils über das gesamte Substrat, während Multi-Position-Quellen die genaue Steuerung der Prozessbedingungen während des Abscheidungsprozesses ermöglichen. LAM RESEARCH SOLA kommt mit den neuesten Technologien, einschließlich einer breiten Palette von spezialisierten Sensoren, Multi-Sensor-Temperaturregler, und die höchste Genauigkeit Encoder Ausrüstung derzeit verfügbar. Dieses System ermöglicht die präzise Platzierung von Material in der Prozesskammer, um die Erstellung von Produkten zu erleichtern, die hohen Qualitäts- und Leistungsstandards entsprechen. SOLA verfügt auch über eine fortschrittliche Einheit zur Eindämmung der Partikelkontamination in der Umwelt. Die Maschine umfasst Partikelfallen, Filter und Systeme zur Steuerung der Prozessgaszusammensetzung. Dadurch wird sichergestellt, dass der Prozess sowohl für die Bediener als auch für die produzierten Endprodukte sicher ist. Insgesamt ist LAM RESEARCH SOLA ein fortschrittliches Werkzeug zur Abscheidung von ultradünnen Filmen und anderen komplexen atomaren Materialien. Es verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Technologien, die die Produktqualität verbessern, Prozesskosten reduzieren und vergeudete Zeit minimieren.