Gebraucht LAM RESEARCH STRATA-GX #293626279 zu verkaufen
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LAM RESEARCH STRATA-GX ist ein hochleistungsfähiger induktiv gekoppelter Reaktor auf Plasmabasis, der entwickelt wurde, um fortschrittliche Ätzverarbeitungsfähigkeiten für eine Vielzahl von Substraten bereitzustellen. Die Reaktorkombination aus Kammerkonstruktion und Komponenten ermöglicht eine reproduzierbare, hochdichte Plasmaverarbeitung (HDP) mit erhöhter Prozessrate. Der STRATA-GX Reaktor bietet geometrisch gleichmäßiges, Hochgeschwindigkeitsätzen mit geringer Substratverzerrung für eine Vielzahl von Anwendungen wie MEMS, Tiefensilizium, biomedizinische und Flachbildschirmanwendungen. Der Reaktor kombiniert einen Mehrpunkt-Suszeptor, eine Dreizonen-lineare induktiv gekoppelte Plasmaquelle (LICP) und ein gleichmäßiges Stromversorgungssystem, das die Erzeugung wiederholbarer Ergebnisse in einer Vielzahl von Prozessströmen und mehreren Ätzraten ermöglicht. LAM RESEARCH STRATA-GX wurde entwickelt, um Plasmaschäden weiter zu reduzieren und Ätzprozesse durch außergewöhnliche Gleichmäßigkeit über ein breites Prozessfenster zu optimieren. Das Design des STRATA-GX Reaktors ermöglicht eine breite Palette von Prozessparametern, einschließlich Plasmadichtesteuerung, kundenspezifische Druckprofile, Timing von mehreren Plasmen, Mehrpunkt-Gleichmäßigkeit und Leistungsregelung. Diese Flexibilität ermöglicht es dem Anwender, Ätzleistungen zu optimieren und von fortschrittlicher Prozesssteuerung zu profitieren. LAM RESEARCH STRATA-GX ist für Plasmachemie-Wechselwirkungen optimiert, die die Partikelbildung und Ätzschäden reduzieren. Der Reaktor verfügt über eine optimierte Pulsweitenmodulation (PWM), die eine Steuerung sowohl der Reaktanden als auch der Produktgase ermöglicht. Die PWM-Funktion steuert die Beweglichkeit der Reaktanten weiter und ermöglicht eine höhere Gleichmäßigkeit und weniger Kantenvorspannung. STRATA-GX verfügt außerdem über ein erweitertes Apertursystem, das die Platzierung größerer Öffnungen auf einem Substrat ermöglicht und eine höhere Gleichmäßigkeit bei höheren Ätzraten gewährleistet. Das Öffnungssystem hilft auch bei der Verbesserung der Ätzselektivität, wo die Ätzrate für ein Material höher ist als für ein anderes. Der LAM RESEARCH STRATA-GX Reaktor bietet einen unübertroffenen Durchsatz für die Serienfertigung von Großgeräten und ist auch mit den meisten vorhandenen Ätzverarbeitungskomponenten abwärtskompatibel. STRATA-GX ist ein ideales Werkzeug für Gerätetechniker, die sich einen Wettbewerbsvorteil in ihrer Ätzproduktion verschaffen möchten.
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