Gebraucht LAM RESEARCH STRATA-GX #293654487 zu verkaufen

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LAM RESEARCH STRATA-GX
Verkauft
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
STRATA-GX
ID: 293654487
CVD System, 12" EFEM Gas box AC Rack Monitor 2016 vintage.
LAM RESEARCH STRATA-GX ist ein Reaktor der nächsten Generation, der für die Plasmabearbeitung in Halbleiter- und anderen fortschrittlichen Materialanwendungen entwickelt wurde. Der Reaktor ist ein Tandemkammertyp, der eine präzise Steuerung der Plasmaerzeugungs- und -verarbeitungsbedingungen ermöglicht. Die erste Kammer beherbergt eine Reihe fortgeschrittener Triebwerke, einschließlich einer Ionenquelle, eines Neutralisators und eines neutralen Strahls; diese Komponenten ermöglichen die Herstellung von hochdichten Plasmen mit bewundernswerter Energieeffizienz. Die zweite Kammer enthält die primären Prozesskomponenten, wie Elektroden, Wände, Abschirmungen und Ätz- oder Abscheideziele. STRATA-GX Reaktor ist mit benutzerfreundlicher Automatisierung und Prozesssteuerung konzipiert, mit dem Ziel, ein Höchstmaß an Leistung und Sicherheit zu bieten. Alle notwendigen Komponenten, wie Endeffektoren, Sensoren und Analysatoren, werden in den Reaktor integriert, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Die fortschrittlichen Prozesssteuerungsalgorithmen ermöglichen eine präzise Echtzeit-Anpassung der Prozessparameter, Maximierung der Genauigkeit und Wiederholbarkeit. LAM RESEARCH STRATA-GX Reaktor verfügt auch über fortschrittliche Diagnostik zur Sicherstellung der Qualität des Plasmaprozesses. Eine Reihe von Diagnostika, wie Strahlstromüberwachung, Plasmaelektronentemperaturmessung, chemische Zusammensetzungsanalyse und Substratoberflächenbildgebung, sind für umfassende Prozesseinblicke in das System integriert. Auch beim STRATA-GX Reaktor wird die Sicherheit umfassend berücksichtigt. Der Reaktor ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, wie Temperaturbeschränkungen, Kammerdrucküberwachung und Plasmafahrenschutz. Darüber hinaus ist der Reaktor mit einer Reihe von ausgeklügelten Sicherheitsprotokollen ausgestattet, um mögliche Risiken zu erkennen und darauf zu reagieren. LAM RESEARCH STRATA-GX Reaktor ist ein ideales System für zahlreiche Halbleiter- und fortschrittliche Materialbearbeitungsanwendungen, die erweiterte Prozessfähigkeiten, genaue Prozessüberwachung und -diagnose sowie umfassende Sicherheitsmerkmale bieten. Dieses zuverlässige, felderprobte System liefert erfolgreiche Plasmabearbeitungsergebnisse für die anspruchsvollsten Anwendungen.
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