Gebraucht NAURA / AKRION / NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550 #9358479 zu verkaufen

NAURA/AKRION/NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550 ist ein Reaktor, der bei der Verarbeitung von Halbleitermaterialien unterstützt. Dies geschieht durch Kombination mehrerer Quellgase mit einem kontrollierten Strom von Umgebungsgas zu den gewünschten Plasmabedingungen für die gewünschte Filmabscheidung. NAURA EPEE 550 ist in der Lage, den Druck, die Temperatur und die Strömungsgeschwindigkeit des umgebenden Gases sowie die Zusammensetzung der Quellgase für die Filmabscheidung zu steuern. Der Reaktor ist auch in der Lage, ein aktiviertes Benzin auszustrahlen, um bei aggressiveren Absetzungsratenvoraussetzungen zu helfen. AKRION EPEE 550 besteht aus einer Vakuumkammer, die mit der für den Betrieb erforderlichen Hardware beladen ist. Zur Vermischung, Steuerung und Betrachtung des Gasstroms in die Kammer ist eine externe Gassteuerung vorgesehen. Die Kammer ist ausgestattet, um Gasdrücke zwischen 0-30 mTorr zu regulieren. Ein Thermoelement innerhalb der Kammer gibt Rückkopplung an den Regler, wodurch eine genaue Regelung der Kammertemperatur möglich ist. Das externe Gassteuerungssystem greift auf 4 separate Gasleitungen zu, die bis zu 5 verschiedene Gase mischen können. Dies ermöglicht eine Vielzahl von Gaskombinationen für verschiedene Abscheideprozesse. Schließlich ist auch ein Hochfrequenzgenerator in der Kammer enthalten, der die Aktivierung und Manipulation von Plasmabedingungen ermöglicht. Die NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550 bietet nicht nur eine Qualitätslösung für die Verarbeitung von Halbleitermaterialien, sondern auch eine hohe Wiederholbarkeit hinsichtlich des eigentlichen Filmabscheidungsprozesses. Dies wird durch die Fähigkeit der Kammer erreicht, die Kammertemperatur, den Druck und die Gaszusammensetzung während des gesamten Prozesses konsequent zu steuern. Darüber hinaus enthält EPEE 550 auch eine Ammoniakquelle, mit der aggressivere 8nm-Abscheidungsprozesse durchgeführt werden können. Abschließend ist NAURA/AKRION/NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550 ein Reaktor, der bei der Verarbeitung von Halbleitermaterialien unterstützt. Seine Fähigkeit, Druck, Temperatur und Strömungsgeschwindigkeit des umgebenden Gases sowie die Zusammensetzung der Quellgase für die Filmabscheidung zu steuern, bietet eine hohe Wiederholbarkeit mit dem eigentlichen Abscheidungsprozess. Darüber hinaus ermöglicht der Hochfrequenzgenerator die Durchführung noch strengerer Dünnschichtabscheidungsprozesse. Damit ist NAURA EPEE 550 eine ideale Lösung für die Halbleiterverarbeitung.