Gebraucht NOVELLUS 02-134264-00 #293663402 zu verkaufen

Hersteller
NOVELLUS
Modell
02-134264-00
ID: 293663402
Wafergröße: 8"
ESC Assy, 8".
NOVELLUS 02-134264-00 Reactor ist eine hochmoderne Plasmabearbeitungsanlage für Hochleistungs-Ätz- und Abscheidungsanwendungen. Dieser fortschrittliche Reaktor nutzt Ultrahochleistungs-Plasmaquellen und dynamische Prozesssteuerung, so dass er für eine breite Palette von Substraten und Materialien geeignet ist. 02-134264-00 Reactor verfügt über eine integrierte Plasmakontrollplattform, die eine präzise In-situ-Prozessüberwachung ermöglicht. Diese Plattform überwacht eine Vielzahl von Plasmaparametern, wie Ionenstrom, HF-Leistung, Quelltemperatur, Reaktantenverteilung usw., um konsistente Ätz- und Abscheidungsoperationen zu gewährleisten. Um die Prozessoptimierung weiter zu erleichtern, kann die Steuerungsplattform benutzerdefinierte Echtzeit-Reporting-Funktionen generieren. In Bezug auf die Substratverträglichkeit ist NOVELLUS 02-134264-00 Reactor in der Lage, auf einer Vielzahl von Oberflächen, einschließlich Metallen, Oxiden, Nitriden und Verbundstoffen, zu ätzen und abzuscheiden. Der dynamische Leistungsbereich des Systems sorgt für zuverlässiges Ätzen und Abscheiden auf einer Vielzahl von Oberflächen und Substraten. 02-134264-00 Reaktor ist auch mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet. Die integrierte Prozesssicherheitseinheit überwacht die Temperatur, den Druck und die Leistung des Reaktors, um sicherzustellen, dass zuverlässige und sichere Plasmabearbeitungsvorgänge aufrechterhalten werden. Darüber hinaus ist der Reaktor UL-zertifiziert und stellt sicher, dass er alle Sicherheitsanforderungen erfüllt. Für sein physikalisches Design ist NOVELLUS 02-134264-00 Reactor mit einem hochpräzisen Miniatur-, Radialgasverteilungsnetz ausgestattet. Dieses hocheffiziente Verteilernetz stellt sicher, dass die Plasmabelastung für optimale Leistung und Zuverlässigkeit über die Kammer verteilt ist. Der Reaktor verfügt zudem über einen modularen Aufbau und eine geringe Stellfläche, so dass er einfach installiert und gewartet werden kann. Zusammenfassend ist 02-134264-00 Reactor eine fortschrittliche Plasmabearbeitungsmaschine für Ätz- und Abscheidungsanwendungen. Die integrierte Plasmasteuerungsplattform sorgt für eine präzise In-situ-Prozessüberwachung. Die Substratkompatibilität und der dynamische Leistungsbereich ermöglichen zuverlässige Ätz- und Abscheidungsvorgänge in einer Vielzahl von Materialien. Der Reaktor ist auch mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um eine optimale Sicherheit für Plasmabearbeitungsoperationen zu gewährleisten. Schließlich machen das hochpräzise radiale Gasverteilungsnetz und die geringe Standfläche dieses Gerätes einfach zu installieren und zu warten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor