Gebraucht NOVELLUS 02-267288-00 #293657512 zu verkaufen

NOVELLUS 02-267288-00 ist ein Reaktor, der im Ätzprozess in der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Dieser Reaktortyp ist speziell für eine schnelle und präzise Ätzrate mit Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit durch die geätzten Bereiche ausgelegt. 02-267288-00 Reaktor wird verwendet, um abgeschiedene Materialien zu entfernen, sowie ein exaktes Design Muster auf das Substrat zu setzen. Der Reaktor ist eine viersektionierte Maschine, die die Lastschloßkammer, die Füllkammer, die Plasmakammer und die Abgaskammer umfasst. Die Lastschloßkammer lädt und entlädt das Substrat in Position für den Plasmaätzprozess. Die Füllkammer füllt die Plasmakammer mit den angegebenen Ätzgasen mit einer präzisen Volumensteuerung, um eine ordnungsgemäße Gleichmäßigkeit und Prozessreproduzierbarkeit zu gewährleisten. Die Plasmakammer arbeitet unter Hochdruck, ultrakalten Umgebung, um hohe Gleichmäßigkeit Ätzraten zur Verfügung zu stellen. Die Abgaskammer enthält spezielle Abgasleitbleche zur Aufnahme der Plasmaabscheidung innerhalb der Kammer. NOVELLUS 02-267288-00 Reaktor ist in der Lage, eine breite Palette von Substraten, einschließlich Silizium-basierte, Metallbasis, Nitride und andere Materialien zu verarbeiten. Der Reaktor ist auch in der Lage, Substrate mit blinden oder vergrabenen Merkmalen genau zu verarbeiten. Dadurch wird sichergestellt, dass das Konstruktionsmuster erhalten bleibt und exakte Ätzraten über alle Bereiche des Substrats eingehalten werden. Der Reaktor erzeugt mit hochfrequenten Powersupplies ein elektromagnetisches Wechselfeld, das ein Plasma erzeugt. Mit diesem Plasma wird dann das Substrat mit der gewünschten exakten Ätzrate geätzt. Der Reaktor ist so konzipiert, dass er bis in den Nanometermaßstab genau geätzt wird, so dass das Material sauber und reproduzierbar entfernt werden kann. Um eine genaue Kontrolle über den Ätzprozess zu erhalten, ist der 02-267288-00 Reaktor auch in der Lage, kritische Parameter wie Temperatur, Druck und HF-Leistung zu überwachen. Der Reaktor kann auch Prozessanomalien wie Plasmainstabilitäten oder chemische Ungleichgewichte erkennen. Im Falle einer Prozessanomalie kann der Reaktor Korrekturmaßnahmen ergreifen, um eine stabile und gleichmäßige Ätzrate zu gewährleisten. Insgesamt ist der NOVELLUS 02-267288-00 Reaktor ein zuverlässiges und robustes Werkzeug für den Halbleiterätzprozess. Die einheitliche Ätzrate und die präzise Designmusterkontrolle sorgen dafür, dass das Designmuster mit hoher Zuverlässigkeit erhalten bleibt. Der Reaktor ist in der Lage, genau mit Nanometergenauigkeit zu ätzen und kann alle Prozessanomalien erkennen, um schnell Korrekturmaßnahmen zu ergreifen.