Gebraucht NOVELLUS Altus Chamber #9204833 zu verkaufen

NOVELLUS Altus Chamber ist ein revolutionärer Ätzreaktor, der entwickelt wurde, um qualitativ hochwertige Prozesse in den Halbleiterherstellungseinheiten (Fabs) von Chipgießereien durchzuführen. Dieser Reaktor ist in der Lage, optimale Ätzparameter bereitzustellen, um komplexere, kleinere Chips im Bereich von 0,21 bis 65 nm Gategrößen herzustellen. Das Merkmal dieser Kammer ist ihre vollsymmetrische Konstruktion, die Gleichmäßigkeit der Ätzergebnisse über alle Waferoberflächen gewährleistet, unabhängig von ihrer Orientierung. Dieses symmetrische Design wird durch elektromagnetische Feldtechnologie angetrieben und kann eine konstante Ätzrate aufrechterhalten. Die Vorteile von Altus Chamber sind: hoher Durchsatz, geringe Betriebskosten und sehr anpassungsfähig. Es ist mit den neuesten Plasmaquellen und Controllern ausgestattet, die in der Lage sind, Low-Power-Ätzungen mit hoher Gleichmäßigkeit und Leistungsfähigkeit zu produzieren - Effizienz bis zu 400 Wafer/Stunde und eine Verringerung der PCB-Ätzrate um mehr als 30%. Die Kammer kann zur gleichzeitigen Bearbeitung mehrerer Arten von Wafern ausgebildet sein, was sie für die Mehrzweckfertigung gut geeignet macht. Darüber hinaus entspricht die Kammer den internationalen Standards und der Druck und die Temperatur innerhalb der Kammer können jederzeit genau überwacht werden. Die Kammer verwendet zweifrequente HF-Generatoren, auch Induktions-RF genannt. Dadurch kann die Kammer eine hohe Plasmadichte erreichen, ohne die Ätzrate oder Gleichmäßigkeit zu beeinträchtigen. Darüber hinaus verfügt die Kammer über ein intelligentes Kalibriersystem, das die Wafergrößenparameter für jedes Substrat automatisch optimiert. Der Controller ermöglicht eine breite Prozessüberwachung und -steuerung und bietet eine benutzerfreundliche Oberfläche für die Erstellung und Abstimmung anwendungsspezifischer Rezepte. Darüber hinaus verfügt die Kammer auch über ein Sicherheitssystem, um die Sicherheit ihrer Operationen zu gewährleisten. Dieses System wird von Sensoren überwacht, die sowohl physikalische als auch chemische Parameter wie Druck und Temperatur überwachen. Die Kammer verfügt auch über ausfallsichere Mechanismen, um abnorme Zustände wie Gasaustritte und mögliche Explosionen zu verhindern. NOVELLUS Altus Chamber ist eine leistungsstarke Ätzkammer für den Einsatz in modernen Chip-Produktionslinien. Die hohe Ätzrate und die niedrigen Betriebskosten machen es zu einer perfekten Wahl für viele Chip-Gießereien, und sein vollständig symmetrisches Design sorgt für die Gleichmäßigkeit des Prozesses und kann mehrere Arten von Wafern gleichzeitig verarbeiten. Diese Kammer hat eine große Benutzeroberfläche, so dass es für Ingenieure einfach ist, Rezepte effektiv zu konfigurieren und abzustimmen. Die Sicherheitssensoren und -protokolle sorgen dafür, dass alle Operationen auf sichere Weise durchgeführt werden, was Altus Chamber zu einer zuverlässigen und optimalen Lösung für alle Anforderungen der Halbleiterherstellung macht.