Gebraucht NOVELLUS Altus #9261397 zu verkaufen
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NOVELLUS Altus ist ein von NOVELLUS entwickelter Hochdruckreaktor mit chemischer Dampfabscheidung (HPCVD) der nächsten Generation. Es ist das erste Gerät, das den Dünnschichtabscheidungsprozess von HPCVD in die Ultrahochdruckumgebung von 20 oder mehr Atmosphären bringt. Diese revolutionäre Technologie ermöglicht die Abscheidung von hochwertigen, homogenen dünnen Schichten mit überlegener Haftung, ausgezeichneter Qualitätskontrolle und geringer Verschmutzung. Altus ist ein Mehrkammersystem, d.h. es verfügt über eine Hauptkammer und eine In-situ-Prozesskammer, die drei separate Gaszufuhrsysteme zum Abscheiden, Reinigen und Glühen unterstützt. Darüber hinaus bietet es ein innovatives Hochdruckabscheidemodul, das eine präzise Steuerung der Prozessbedingungen von Druck und Temperatur über Gasstrom bis hin zur Vermischung bietet. Der Abscheideprozess in NOVELLUS Altus kann auf verschiedene Materialien zugeschnitten werden. Es ist hocheffizient und gewährleistet eine gleichmäßige Verteilung der Schichtdicken über das Substrat. Darüber hinaus bietet es niedrige Verschmutzungen, was zu hochwertigen Produkten mit minimalen Defekten führt. Altus ist eine sehr vielseitige Einheit und kann für eine breite Palette von Dünnschichtabscheidungsanwendungen wie Flachbildschirme, Halbleiterchips und Datenspeichergeräte verwendet werden. Es ist auch so konzipiert, energieeffizient zu sein, mit Funktionen wie Energie-Recycling-Filtration, Gaszerstäubung, Niederdruck-CO2-Spülung, und Ventile entwickelt, um Energie zu sparen. NOVELLUS Altus Maschine ist sehr benutzerfreundlich und kann mit Leichtigkeit bedient werden. Es ist mit einem sicheren und einfach zu bedienenden Wartungsprozess gebaut und die intuitive Benutzeroberfläche sorgt für eine schnelle Bedienung und Einrichtung, wodurch Ausfallzeiten reduziert werden. Insgesamt ist Altus ein fortschrittlicher HPCVD-Reaktor, der ausgezeichnete Gleichmäßigkeit, geringe Kontamination und Ultrahochdruck-Abscheidungsfähigkeiten für eine breite Palette von Dünnschichtanwendungen bietet. Es ist ein hocheffizientes, vielseitiges und benutzerfreundliches Werkzeug für überlegene Leistung und hervorragende Dünnschichten.
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