Gebraucht NOVELLUS Altus #9261414 zu verkaufen

NOVELLUS Altus ist eine Hochleistungs-Beschichtungsanlage der nächsten Generation, die für fortschrittliche Materialabscheidungs- und Ätzprozesse entwickelt wurde. Es verwendet ein einzigartiges, fortschrittliches Architekturdesign, um ultrahohe Materialabscheidungsraten und eine überlegene Prozesskontrolle zu bieten. Altus Plattform ist für die Herstellung von FinFETs, MEMS, 3D NAND und anderen komplexen Strukturen konzipiert. NOVELLUS Altus kann Schichten mit hoher Foliendicke-Gleichmäßigkeit sowie Ätzeigenschaften mit hoher Präzision und Wiederholbarkeit abscheiden und mustern. Altus-Geräte kombinieren Hardware und Software, um präzise Materialparameter, überlegene Prozesskontrolle und herausragende Einheitlichkeit bereitzustellen. Das System verfügt über Lithographie- und Ätzhardware sowie erweiterte Abscheidemodule. Es verwendet ein innovatives zweistufiges sequentielles Reaktordesign und verwendet sowohl Dreh- als auch Linearmechanismen, um eine Hochgeschwindigkeitsrotation der Spulen zu ermöglichen. Hierdurch wird ein hohes Maß an Kontrolle des Abscheideprozesses erreicht und gleichzeitig eine höhere Gleichmäßigkeit der Materialeigenschaften ermöglicht. Die Einheit kann auch für verschiedene Folientypen konfiguriert werden, einschließlich Konformität, Nachsputtern und Schatten. Es verwendet ein einzigartiges zweistufiges Messverfahren, um eine wirklich genaue Gleichmäßigkeit der Filmdicke zu gewährleisten. Darüber hinaus ermöglicht der konforme Abscheidungsschritt die Erstellung dreidimensionaler Formen mit fein gesteuerten Merkmalsgrößen. NOVELLUS Altus Platform verfügt auch über eine schnelle, genaue Ausrichtmaschine für präzise Filmregistrierung und ein proprietäres, fortschrittliche Architektur Deposition Boot für überlegene Beschichtung Gleichmäßigkeit. Es verfügt auch über eine hohe Geschwindigkeit Filmdurchsatzfähigkeit, so dass auch große Schichten schnell und genau verarbeitet werden können. Zusätzlich zu seinen Hardwarekomponenten verwendet Altus tool proprietäre Software, um den Abscheidungsprozess zu steuern. Die Software bietet Optionen für automatische Pellicle-Beladung, intelligente Pump-Down-Optimierung, Feature-Registrierung und viele andere Funktionen, die auf die Anforderungen jedes einzelnen Prozesses zugeschnitten sind. NOVELLUS Altus ist ein revolutionäres Produkt, das Anwendern die Leistung hochpräziser, hochdurchsatzreicher und hochgleicher Abscheide- und Ätzprozesse bietet. Seine fortschrittliche Architektur ermöglicht es ihm, eine breite Palette von Prozessen für die Herstellung der fortschrittlichsten Elektronikprodukte zu bewältigen.