Gebraucht NOVELLUS C2-CVDD Concept 2 #293648738 zu verkaufen

NOVELLUS Concept 2 CVDD (Chemical Vapor Deposition) Reaktor ist eine hochmoderne Multi-Kammer chemische Dampfabscheidung Ausrüstung entwickelt, um dünne Filme mit hohen Raten und mit hoher Gleichmäßigkeit abzuscheiden. Dieses System nutzt ein einzigartiges Kammerdesign, um schnelle Abscheideraten und einen niedrigen Temperaturbereich zu erreichen, um dickere Folien abscheiden zu können. Die Concept 2 CVDD-Einheit besteht aus einer Lastschloßkammer und einer Wafer-Transferkammer, die zur Übertragung von Prozessscheiben in und aus der Abscheideprozesskammer dienen. Die Lastschloßkammer dient auch zum direkten Be- und Überladen von Wafern, so dass kein manuelles Be- und Entladen erforderlich ist. Dies hilft, Kontaminationen zu reduzieren und macht die CVDD-Maschine einfacher zu bedienen. Die Abscheideprozesskammer ist ein Mehrkammerwerkzeug, bestehend aus einer Gasvormischkammer, einer Abscheidekammer und einer Gasspeicherkammer. Mit der Gasvormischkammer werden vor dem Eintritt in die Abscheidekammer eine Vorstufe und ein inertes Trägergas vermischt. Durch die Vormischung der Vorläufer trägt dieser Prozess zur Gleichmäßigkeit des Abscheidungsprozesses bei. Die Abscheidekammer ist dort, wo die eigentliche Abscheidung des Dünnfilms erfolgt. Diese Kammer ist für den Betrieb bei niedriger Solltemperatur ausgelegt, typischerweise um 500C herum, um dickere Folien abscheiden zu können. Der Gasspeicher dient zur Speicherung von Gas bei dem erforderlichen Druck und der erforderlichen Temperatur. Dadurch wird die im Betrieb eingesetzte Gasmenge reduziert. Das gesamte CVDD-Asset wird von einem Computermodell gesteuert, das zur Verwaltung des Depositionsprozesses und zur Überwachung der Ergebnisse verwendet wird. NOVELLUS Concept 2 CVDD ist ein zuverlässiger und wiederholbarer Prozess, der in einer Vielzahl von Industrie- und Forschungsanwendungen eingesetzt wird. Dieses System ist in der Lage, dünne Filme im Bereich von 10nm bis 500nm in der Dicke abzuscheiden. Zusätzlich kann diese Einheit je nach Anwendung transparente, reflektierende und undurchsichtige dünne Folien abscheiden. NOVELLUS Concept 2 CVDD Maschine ist ein zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug zum Ablegen von dünnen Folien.