Gebraucht NOVELLUS C2-Sabre #293634852 zu verkaufen

NOVELLUS C2-Sabre ist eine Nassstation für fortgeschrittene Halbleiterverarbeitungsanwendungen. Es ist ein vielseitiges Werkzeug, das verwendet werden kann, um eine breite Palette von Substraten wie Silizium, Glas, Keramik und Quarz zu ätzen und isotrop zu reinigen. Das Werkzeug besteht aus einer Bearbeitungskammer, einer turbogepumpten Abgasanlage und einer Vielzahl von externen Pumpen und Ventilen. Das System umfasst ferner eine Elektronenstrahlquelle zur Probenbehandlung und -analyse sowie ein hochauflösendes Steuerungssystem zur Steuerung der verschiedenen Kammerkomponenten. C2-Sabre arbeitet in zwei Modi: Nassätzen und isotrope Reinigung bestimmter Substrate. Es hat zwei Hauptmerkmale, die es von anderen Nassätzsystemen unterscheiden: ein vorreinigendes Verfahren, das vor dem Ätzen eine Tensidlösung auf Wasserbasis verwendet, und ein aggressives Reinigungsverfahren, das ein aktives organisch-chemisches Gemisch verwendet, um unerwünschte Materialien schnell zu entfernen. Der Vorreinigungsprozess hilft, ein gleichmäßiges Ätzprofil zu erreichen. Es wird erreicht, indem man eine Lösung aus Wasser und Tensid auf das Substrat einbringt und mit ultraviolettem Licht aktiviert. Dies hilft, die Oberflächenspannung sowohl auf dem angestrebten Material als auch auf der Substratoberfläche aufzubrechen, was eine leichtere Entfernung beider Materialien ermöglicht. Das aggressive Reinigungsverfahren von NOVELLUS C2-Sabre verwendet ein hochaggressives Gemisch aus Ammoniumhydroxid und Wasserstoffperoxid sowie bestimmte Additive, um die Oberflächenmaterialien vom Substrat abzustreifen und auszustreifen. Dies wird durch plasmaunterstütztes chemisches Ätzen (PACE) erreicht, bei dem die Reaktion der chemischen Mittel durch ein niederspannungsförmiges elektrisches Feld induziert wird. Das PACE hilft, die Geschwindigkeit der chemischen Reaktion und damit eine schnellere Ätzrate des angestrebten Materials zu erhöhen. Die Elektronenstrahlquelle von C2-Sabre ermöglicht die Analyse, Charakterisierung und Reparatur verschiedener Substrate und Oberflächen. Der Strahl wird auf die Eigenschaften des Substrats abgestimmt, um eine Reihe von Scans bereitzustellen, die Informationen über Oberflächentopographie, Filmmorphologie und andere oberflächenspezifische Eigenschaften erfassen. Zusätzlich kann die elektronenstrahlerzeugte Heizung zum Verdampfen, Reflow und Re-Legieren von Hintergrundmaterialien verwendet werden, wodurch Fehler entfernt und Schaltungen ohne mechanischen Eingriff verändert werden können. NOVELLUS C2-Sabre ist ein äußerst zuverlässiges Werkzeug mit robusten Software- und Hardwarekomponenten. Es bietet Flexibilität und Genauigkeit in vielen Schritten der Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es bietet ausgezeichnete Erträge, schnellen Durchsatz und niedrige Betriebskosten und ist somit eine ideale Wahl für fortgeschrittene Prozessanwendungen.