Gebraucht NOVELLUS Chambers for Inova #9282131 zu verkaufen

NOVELLUS Chambers for Inova ist ein Reaktor für die Verarbeitung fortschrittlicher Materialien. Dieser Reaktor ist eine PECVD-Kammer mit einem 330 MHz, 8 kW Induktionsplasmagenerator. Es hat eine 66 cm tiefe zylindrische Kammer und eine obere Platte, die das HF-Plasma in einem Druckbereich von 0,3 - 0,7 Torr enthalten soll. Diese Kammer ist ideal für Gewebe, die hohe Abscheidegeschwindigkeiten und Gleichmäßigkeit bei hohen Temperaturen erfordern. Der Reaktor ist in der Lage, einen großen Temperaturbereich von 20 ° C bis 1100 ° C zu erreichen, wodurch eine Vielzahl von Prozessen in dieser Kammer durchgeführt werden können. Der Kern von Chambers for Inova ist der Induktionsplasmagenerator, der ein Schlüsselelement für den sicheren Betrieb der Kammer ist. Der Plasmagenerator verwendet einen Mehrkanaltransformator, der eine Wechselstromversorgung in eine Gleichstromversorgung umwandelt, um die Zuverlässigkeit und Leistung des Plasmas zu erhöhen. Der Wechselstrom wird dann durch mehrere Spulen geleitet, wodurch ein elektrisches Feld zur Erzeugung des Plasmas entsteht. Dieses Gerät ist mit der Leistung und Bandbreite ausgelegt, um sicherzustellen, dass das Plasma für die Dauer des Abscheidungsprozesses konsistent bleibt. Die Kammer verfügt außerdem über eine dynamische Steuerung, die zur Überwachung und Steuerung der Plasmaparameter ausgelegt ist, um die Gleichmäßigkeit innerhalb der Kammer zu gewährleisten. Die Steuereinheit überwacht die Höhe der Kanalpotentiale innerhalb des Plasmagenerators sowie die Überwachung des Drucks innerhalb der Kammer. Darüber hinaus ist die Steuerungsmaschine auch in der Lage, die Leistung des Plasmas einzustellen, um die Gefahr einer Beschädigung der zu bearbeitenden Materialien zu minimieren. NOVELLUS Chambers for Inova ist hocheffizient konzipiert, da es in der Lage ist, hohe Abscheidungsraten bei Temperaturen bis zu 20 ° C zu erreichen. Darüber hinaus ist die Kammer in der Lage, über große Flächen gleichmäßige Abscheidegeschwindigkeiten mit sehr niedrigen Abscheidegeschwindigkeitsfehlern zu erzielen. Dieser Reaktor ist aufgrund seiner Kombination aus hoher Genauigkeit und Effizienz eine ideale Wahl für die Herstellung hochleistungsfähiger fortschrittlicher Materialien.