Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 2 #9093688 zu verkaufen
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ID: 9093688
Wafergröße: 8"
Chamber, 8"
Facility and Interface:
Altus module locations: Dual: Port 2 and 3
WTS (backbone) facilities connection configuration: Bottom facilities installation
Remote interconnect cables: 75 feet
Modular power distribution [MPD, DUAL, ALTUS, C2PDP]: 01-298450-11
DLCM-S:
ROBOT ASSY, MAG7, BISYMMETRIK ARM, DLCM: 02-262359-00
Transfer module to chamber valve (SMC Valve): 02-121427-00
Throttle valve kit, DLCM-S: 04-048579-02
Loadlock gate valve, SMC: 02-133799-00
Readiness kit: Dual altus ready
Software/Controls:
Module controller type: 02-272554-00, MC3
System controller type: 2-267883-00, MC3
System software (QNX): 5.1
DLCM-S IOC:
0 - IOC - 4.1
2 - IOC - 4.1
3 - IOC - 4.1
Altus IOC:
0 - SIOC - 4.30
1 - SIOC - 4.30
2 - SIOC - 4.30
3 (MPD) - SIOC - 4.10
Chase UI Kit: 02-117110-00
Process Chamber configuration:
SHWRHD, 200 mm, Style B: 03-00258-00
ASSY, PED, 200 mm MOER, D.3, SEMI: 02-033134-01
EXCL RING, 200 mm, 2.0 mm OH SEMI: 15-032777-00
Indexer plate, HUB: 15-034848-00
INDEXCER, WF, EXCL, OPTION, 200 mm: 15-00934-02
Spindle assembly: 02-126697-00
OPT ENDPT DET'R, MSTR, ALT-S: 04-0120458-00
Throttle Valve MKS (Pressure control valve): 27-250285-00
Gate valve, vat: 60-10015-00
Gas box configuration (CESCVD02177B):
Manifold A 1: Aera FC-7800CD, AR/2 SLM
Manifold A 3: Aera FC-7800CD, H2/20 SLM
Manifold B 6: Aera FC-7800CD, C2F6/2 SLM
Manifold B 7: Aera FC-7800CD, O2/2 SLM
Manifold D 2: Aera FC-7800CD, SiH4/100 SCCM
Manifold H D: Aera FC-7800CD, Ar/20 SLM
Manifold W 4: Aera FC-7800CD. AR/20 SLM
Manifold W 5: Aera FC-7800CD, WF6/1 SLM
Manifold C 8: Aera FC-7800CD, Ar/10 SLM
Manifold C 9: Aera FC-7800CD, H2/20 SLM
Baratron:
Altus, CAP MANOMETER, HEATED 100 TORR: 27-10340-00
Altus, CAP MANOMETER, HEATED 10 TORR: 27-10343-00
Altus, Backside, CAP MANOMETER< HEATED 100 TORR: 27-10340-00
DLCM-S, LOADLOCK, CAP MANOMETER, HEATER 100 TORR: 27-10340-00
DLCM-S, TM, CAP MANOMETER, HEATED 100 TORR: 27-10340-00
Supporting remote units:
(1) Process pump per process chamber: BOC Edwards, IH1000 - x2 for process pump typical
(1) Pedestal pump per process chamber: BOC Edwards, i80 - x2 for pedestal pump typical
(1) TM pump per system: BOC Edwards, i80 - x1 for TM pump typical
(1) LL pump per system, BOC Edwards, i80, x1 for LL pump typical.
NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 2 ist eine Reaktortechnologie zur Optimierung der industriellen Verarbeitungseffizienz. Dieser Reaktor ist ein Prozesswerkzeug mit Funktionen, die verbesserte Zuverlässigkeit, bessere Verarbeitungsgenauigkeit und schnelleren Durchsatz ermöglichen. Der Reaktor arbeitet über einen großen Temperaturbereich und bietet eine Reihe nützlicher Merkmale für den industriellen Bereich. Die Grundkonfiguration des CONCEPT 2 Altus 2 Reaktors umfasst mehrere Teile: die Karosserie, das Gate, den Emitter, das Steuergehäuse und das Waferboot. Der Körper des Reaktors besteht aus einem langlebigen Material, um Langlebigkeit und Sicherheit zu gewährleisten. Das Tor dieses Reaktors ist eine Schlüsselkomponente - es ist der Teil, in dem niederenergetische Ionen in die Ausrüstung gelangen. Der Emitter dieses Reaktors arbeitet mit dem Gate zusammen, um geladene Partikel zu emittieren, die für den Abscheide- und Ätzprozess notwendig sind. Das Kontrollgehäuse beherbergt die Stromversorgung, Temperaturregelung und Datenlogging-Systeme, die es dem Benutzer ermöglichen, den Prozess zu optimieren. Schließlich ist das Waferboot das Teil, das das Zielmaterial aufnimmt und in das System zur Verarbeitung überführt werden kann. Beim Abscheiden und Ätzen muss der Benutzer den Temperaturbereich, die Leistungsstufen und die Druckstufen einstellen. Dafür bietet der NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 2 Reaktor eine Reihe nützlicher Funktionen. Der Temperaturregler nach dem Stand der Technik hält die Temperatur innerhalb des vorgesehenen Bereichs genau, während der Leistungsregler die Höhe der Leistungsaufnahme entsprechend der Anforderung der Einheit einstellt. Dieser Vorgang kann auch durch die mit diesem Reaktor zur Verfügung stehende Datenerfassungsmaschine überwacht und eingestellt werden. Insgesamt ist der CONCEPT 2 Altus 2 Reaktor ein zuverlässiges und effizientes Prozesswerkzeug mit nützlichen Funktionen für die industrielle Verarbeitung. Es sorgt für Genauigkeit, Geschwindigkeit und Sicherheit beim Abscheide- und Ätzvorgang. Dieser Reaktor bietet auch einen großen Temperaturbereich, um den Bedürfnissen der verschiedenen Branchen gerecht zu werden.
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