Gebraucht NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink #293777488 zu verkaufen

NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink ist ein hochmoderner Plasma-verbesserter Ultra-Hochvakuum-Abscheidungsreaktor, der der Halbleiterindustrie präzise Dünnschichtabscheidungsfähigkeiten bietet. Es ist eine hochentwickelte Ausrüstung, bestehend aus einer Kammer, einem Balg, einer Kammerdämpfung, einer Balgdämpfung, einem schnellen und groben Steigungswiderstandsantrieb und einer Kühleinheit. Die Kammer ist eine Ultrahochvakuum-Umgebung zur reaktiven Gasabscheidung, ausgestattet mit allen notwendigen Vakuumpumpen und Trennventilen. Es ist mit dem Aufzugssystem, Deckel, Schnellantrieb und Balg für den Gaseintritt verbunden. Das Innere der Kammer ist mit einem nanokeramischen Isolator beschichtet, um die Lebensdauer der Einheit zu verbessern und eine hohe Energieeffizienz zu erhalten. Ein großes Quarzfenster ermöglicht die Sichtprüfung des Substrats während des Abscheideprozesses. Herzstück der Maschine ist ein schneller Pitch-Antrieb, der eine präzise Geschwindigkeitsregelung und höhere Durchsätze mit mehreren Leistungskonfigurationen ermöglicht. Ein integriertes Hochfrequenz-Matching-Netzwerk erhöht die Abscheidungsgleichmäßigkeit und reduziert Abfall. Die Faltenbälge sind so ausgelegt, dass sie die Beanspruchung und Verzerrung der Dünnschichtschichten minimieren und die Dämpfung des Faltenbalgs während des Abscheidungsprozesses erhöhten Schutz bietet. Konzept 2 Altus Shrink ist in der Lage, hochdesitäre Kupferabscheidung, mit einer optimierten Durchsatzrate und fortschrittliche Feinabstandskontrolle, zusammen mit maximalen Grundfrequenzraten bis zu 5 MHz. Die Feinstufenkontrolle des Reaktors sorgt für Gleichmäßigkeit und erhöht den Durchsatz, während schwere Kupferschichten mit höheren Abscheidungsraten als je zuvor möglich sind. NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink ist ebenfalls sehr prozessstabil und ermöglicht eine genaue Dünnschichtabscheidung auf dem Substrat. Die Kühleinheit verwendet mehrere Flüssigkeitskühlmäntel und Präzisionsthermoelemente, um die optimale Temperatur für die Abscheidung zu halten. Dies minimiert die Erosion der Seitenwand und erhöht die Lebensdauer der Dünnschichtschichten, wodurch die Energieeffizienz des Werkzeugs weiter erhöht wird. Concept 2 Altus Shrink ist ein Ultra-Hochvakuum-Abscheidungsreaktor, der sowohl eine präzise Dünnschichtabscheidung als auch eine erhöhte Energieeffizienz durch seine fortschrittliche Technologie, das Kammerdesign und die Kühleinheit bietet. Sein schneller Pitch-Antrieb und seine Balgdämpfung ermöglichen eine hochdichte Kupferabscheidung mit Gleichmäßigkeit und erhöhten Durchsätzen, was ihn zu einer idealen Wahl für diejenigen in der Halbleiterindustrie macht.