Gebraucht NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink #9180728 zu verkaufen

NOVELLUS Concept 2 Altus Schrumpfreaktor ist ein vielseitiges Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen, das die Herstellung von hochpräzisen Transistoren im Nanometermaßstab mit unterschiedlichen konstruktiven Konstruktionen ermöglicht. Konzept 2 Altus Schrumpfreaktor ist ein CVD-Werkzeug, das die Abscheidung einer Vielzahl von Folienmaterialien für die Geräteherstellung ermöglicht. Das Werkzeug enthält fortschrittliche Plasma-CVD-Chemie zur präzisen Abscheidung einzelner Materialschichten mit atomarer Präzision. Der NOVELLUS Concept 2 Altus Schrumpfreaktor ist so konzipiert, dass er eine schnelle Abscheiderate ermöglicht und eine gleichmäßige Dicke über große Oberflächen bietet. Diese Fähigkeit ist durch Optimierung der Druck- und Gasströmungsgeschwindigkeit beim Schrumpfen der Waferkammer erreichbar. In Kombination mit Ultrahochvakuum und niedrigeren Drücken als bei anderen konventionellen CVD-Reaktoren ist der Altus-Schrumpfreaktor Concept 2 für kritische Schichtdickenabscheidungen hochoptimiert. Es kann verschiedene ätzfeste Materialien für überlegenen Geräteschutz und Abscheidung von Metall-dielektrischen Filmen verschiedener Dicken für verschiedene Gerätestrukturen abscheiden. NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink Reaktor kann auch High-Aspect-Ratio-Funktionen für geformte Gate-Strukturen schaffen, so dass überlegene Design-Flexibilität. Darüber hinaus ist das Werkzeug in der Lage, konforme Nanoschichten aus Polymer oder Kohlenstoff-Nitrid-Material für Gate-Isolation und fortgeschrittene Metallgates abzuscheiden. Das Konzept 2 Altus Schrumpfreaktor ist auch in der Lage, eine Reihe von Vorheiztemperaturen für eine bessere Kontrolle der Schichtdicke sowie eine variable Nachglühfunktion für hochwertige, dauerhafte Abscheidung. Darüber hinaus verfügt es über einen hohen Filmdurchsatz und eine hohe Produktionseffizienz sowie eine eingebettete Diagnose. Es ist ein vollständig integriertes Gasfördersystem, das Rezeptsteuerung, Massenstromregler, MFC-Überwachung und Online-Gasspülung und -überwachungsfähigkeit für rückverfolgbare Ergebnisse umfasst. NOVELLUS Concept 2 Altus Shrink Reaktor hat präzise Prozesskammern für verbesserte Gleichmäßigkeit der Abscheidung über große Flächen mit minimaler Temperaturschwankung sowie verbesserte Prozessstabilität für vorhersagbare Ergebnisse. Das Werkzeug verfügt auch über eine automatisierte Wafer-Übertragung, einschließlich Wafer beladen, Entladen, Gummi-Stop-Wafer-Spannfutter und Anzahl der Wafer pro Rezept. Es ist auch in der Lage, modernste Prozesssteuerung, mit einer einfach zu bedienenden grafischen Benutzeroberfläche und in-situ Messtechnik für Feedback und Qualitätskontrolle.