Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #166554 zu verkaufen

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Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT 2 Altus
ID: 166554
Wafergröße: 8"
Chemical vapor deposition system, 8" (1) Altus shrink chamber (PNL) MTR5 Robot Single SSD (1) Aligner 1996 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Altus ist ein hochmoderner Reaktor für Anwendungen in der hochentwickelten Materialabscheidung für die Halbleiterherstellung und MEMS-Fertigung. Der Reaktor bietet eine breite Palette von Fähigkeiten und ist einer der leistungsstärksten und zuverlässigsten Reaktoren auf dem Markt. Es eignet sich gut zum Abscheiden gleichmäßiger dünner Filme mit niedrigsten Spannungswerten und hohen Brechungsindexschwankungen. Der Altus verwendet eine Vakuumverarbeitungskammer und eine Elektronenstrahlquelle (E-Strahl). Eine Hochleistungs-Elektronenkanone mit bis zu 60 Kilovolt (kV) wird verwendet, um unerwünschtes Material vor der Abscheidung von Oberflächen zu entfernen. Durch dieses Verfahren können die Schichten enger auf dem Substrat haften und erhöhen die Stabilität der resultierenden Dünnschicht. Es ermöglicht auch die Abscheidung von Materialien, die ansonsten mit herkömmlichen Methoden schwer abscheidbar sind. Das System beinhaltet eine SmartCard, eine Schnittstelle zur einfachen Parametereinstellung. Es ist eine hochgradig konfigurierbare Plattform, die es ermöglicht, Ablagerungsprozessrezepte basierend auf der Spezifikation des Benutzers zu programmieren. Darüber hinaus ist CONCEPT 2 Altus mit fortschrittlichen Controllern und Computern zur vollautomatischen Prozesssteuerung ausgestattet. Dies ermöglicht den Zugriff auf verschiedene Funktionen, die von einfachen Anpassungen bis hin zu komplizierteren Parametern reichen. Der Reaktor kann alle Arten von Materialien behandeln, einschließlich Metalle, Dielektrika und Verbindungen. Das Abscheidungsverfahren wird entweder durch Langmuir-Blodgett (LB) oder Atomschichtabscheidung (ALD) erreicht. Das LB-Verfahren eignet sich für dünne Filme mit geringer Molekülgröße und das ALD-Verfahren ist für die Herstellung komplexer stabiler Oxide optimiert. NOVELLUS CONCEPT 2 Altus verfügt zudem über ein Energiemanagementsystem (EMS), das den Energieverbrauch während des Dünnschichtabscheidungsprozesses reduziert. Dies trägt zur Senkung der Betriebs- und Wartungskosten bei und führt zu einem verbesserten Produktionsertrag. Darüber hinaus sind Wandler und Emitter im Vergleich zu Alternativen sehr langlebig, was weniger Ausfallzeiten und weniger Ersatzteile bedeutet. CONCEPT 2 Altus ist die beste Option für Anwender, die nach leistungsstarken, kostengünstigen Ablagerungsfunktionen suchen. Seine fortschrittlichen Eigenschaften machen es für praktisch jede Anwendung geeignet, die die Abscheidung von dünnen Schichten oder alternativen Beschichtungen erfordert. Darüber hinaus ist die Kombination aus Hochleistungs-E-Strahlquelle, SmartCard-Schnittstelle und Computerautomatisierung einer der zuverlässigsten Reaktoren für die Materialabscheidung.
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