Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #181297 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 181297
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Dual Shrink W-CVD Chemical vapor deposition system, 8"
Chamber Location
1 Station Left Loadlock
2 station Process Module
3 station Process Module
4 station Right Loadlock
5 Station Cooling Sation
Electrical Requirements
AC power Voltage 208 VAC
DLCM Configuration
Indexer Type: Animatic Controller
Brooks Robot Type: Mag7
Host Interface: GEN/SECS
Controller Type : P166/64M/QNX4
DLCMS Type: Only Hi
Module Interface Type: Arc-net Type
IOC : Ver 4.1
TM Manometer 1 torr/ 100mtorr: Tylan General
L/L Manometer 100torr: Tylan General
L/L Convectron: Not Install
Module Door Type: SMC L-Motion
Chamber A:
Process Option BLKT
Clean Option Insuts Clean
MOER Ceramic M/A / M/B (Not Used)
Throttle Valve Type Tylan General 1ea
MFC Type & Size
Brooks 5964:
Ar (5000Sccm)
Ar (10000Sccm)
Area FC980C:
NH3 (150Sccm)
Brooks 5964:
Ar (10000Sccm)
Ar (20000Sccm)
Ar (20000Sccm)
H2 (20000Sccm)
H2 (20000Sccm)
Area FC980C:
B2H6, N2 (750Sccm)
Brooks 5964:
C2F6 (2000Sccm)
SAM MC4VLZ24:
WF6 (1000Sccm)
Brooks 5964:
O2 (2000Sccm)
SiH4 (1500Sccm)
SFC1480FPD:
SiH4 (300Sccm)
Slip Valve Type: SMC L-Motion
Chamber B:
Process Option BLKT
Clean Option Insuts Clean
MOER Ceramic M/A / M/B (Not Used)
Throttle Valve Type Tylan General 1ea
MFC Type & Size
SPEC 7330:
Ar (5000Sccm)
Ar (5000Sccm)
NH3 (1000Sccm)
NH3 (1000Sccm)
Ar (20000Sccm)
Ar (5000Sccm)
Ar (15000Sccm)
H2 (5000Sccm)
H2 (20000Sccm)
B2H6, N2 (750Sccm)
C2F6 (2000Sccm)
WF6 (750Sccm)
O2 (2000Sccm)
SiH4 (1000Sccm)
Slip Valve Type SMC:
L-Motion
1996 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Altus ist eine hochspezialisierte und fortschrittliche PVD (Physical Vapor Deposition) Reaktorausrüstung. Es wird häufig verwendet, um dünne Filme aus abgeschiedenem Material auf großflächige Substrate wie Siliziumscheiben zur Verwendung in Halbleiter-, optoelektronischen und mikroelektronischen Bauelementen aufzubringen. Das System CONCEPT 2 Altus wurde entwickelt, um eine hohe Prozesssteuerung, Einheitlichkeit und Flexibilität mit dem Ziel der Optimierung der Prozessausbeute zu gewährleisten. Die PVD-Kammer wird von einem Linearmotor angetrieben, der eine gleichmäßige, stabile Umgebung zur gleichmäßigen Abscheidung bietet. Es verfügt auch über variable Substratgrößen, einstellbare Geschützpositionen, mehrere Zonen und zwei Quellen von Abscheidungsmaterialien, die zur Maximierung der Prozessgleichförmigkeit und des Durchsatzes beitragen. Die Kammer verfügt außerdem über einen schnellen, hochpräzisen Roboterarm, der Materialien schnell und präzise in die Kammer bewegt und belastet. NOVELLUS CONCEPT 2 Altus ist mit einer Vielzahl von Sensoren und Reglern ausgestattet, die den Prozess kontinuierlich überwachen und eine detaillierte Rückmeldung über die Gleichmäßigkeit der Reaktion liefern. Dadurch wird eine möglichst hohe Qualität und Wiederholbarkeit der dünnen Folien erreicht. Die Maschine enthält auch proprietäre Software, die verwendet werden kann, um den Abscheidungsprozess in Echtzeit zu überwachen, auszuwerten und anzupassen. Das Tool CONCEPT 2 Altus bietet Anwendern eine bessere Kontrolle über Prozessparameter, eine höhere Genauigkeit und Wiederholbarkeit sowie eine verbesserte Prozessstabilität. Es ist ein idealer Vorteil für diejenigen, die hochwertige dünne Folien schnell und effizient auf großflächige Substrate auftragen möchten. Die Kombination aus überlegener Leistung, Wiederholbarkeit und Flexibilität machen NOVELLUS CONCEPT 2 Altus Modell zur perfekten Wahl für Hochvolumen-PVD-Anwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor