Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #293627308 zu verkaufen

Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT 2 Altus
ID: 293627308
Wafergröße: 8"
System, 8".
NOVELLUS CONCEPT 2 Altus (Altus) ist ein Reaktortyp, der ein einzigartiges duales Plasmakammerdesign verwendet, um fortschrittliche Verarbeitungstechnologien zu unterstützen. Dieses Design hilft, die Fähigkeit des Geräts zu optimieren, zahlreiche Prozesse wie Abscheiden und Ätzen mit erhöhter Effizienz und Präzision durchzuführen. Der Altus-Reaktor nutzt zwei Kammern, die zwei unterschiedliche Plasmaumgebungen erzeugen. Die erste Kammer arbeitet mit hoher Leistung und erzeugt ein Hochtemperaturplasma mit hoher Dichte, während die zweite Kammer mit niedrigerer Leistung arbeitet und ein Plasma mit niedrigerer Dichte emittiert. Dieses Doppelkammerdesign bietet Altus einzigartige Flexibilität, um eine breite Palette von Abscheide- und Ätzprozessen mit hoher Gleichmäßigkeit der Abdeckung und Qualität zu unterstützen. Der Altus ist auch in der Lage, eine äußerst stabile Verarbeitungsumgebung aufrechtzuerhalten, die Schwankungen der Prozessparameter reduziert und somit eine überlegene Prozessgleichmäßigkeit in Bezug auf Filmkorn, Dotierungskonzentration und Prozesswiederholbarkeit erzeugt. Diese Leistung wird durch ein ausgeklügeltes Mantelstrommanagementsystem erreicht, das das Mantelgas zwischen den beiden Kammern aufteilt und sowohl die Abscheide- als auch die Ätzprozesse in jeder Stufe steuert und optimiert. Es ist wichtig zu beachten, dass der Altus-Reaktor nicht nur bei der Herstellung ein starker Leistungsträger ist, sondern auch extrem langlebig ist. Der Reaktor ist aus hochwertigen Materialien aufgebaut, die eine prozessbedingte Abriebfestigkeit gewährleisten und längere Zeit einsetzbar sind. Darüber hinaus verwenden die Einbauten des Altus-Reaktors fortschrittliche Verbundwerkstoffe, die auch zur Senkung der gesamten Wartungskosten beitragen. Abschließend ist CONCEPT 2 Altus Reaktor eine fortschrittliche, vielseitige und zuverlässige Ausrüstung, die großflächige oder kleine Fertigungsprozesse unterstützen kann. Sein breites Spektrum an unterstützten Prozessen, seine überlegene Prozessgleichmäßigkeit und seine langlebige Konstruktion machen es zu einer idealen Wahl für viele Fertigungsbetriebe.
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