Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #9268202 zu verkaufen

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Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT 2 Altus
ID: 9268202
Wafergröße: 8"
CVD-W System, 8".
NOVELLUS CONCEPT 2 Altus ist ein hochmoderner Hochdichtereaktor, der in der Halbleiterindustrie zur Herstellung komplexer integrierter Schaltungen eingesetzt wird. Es ist eine Plasma-verbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD) Ausrüstung, die entworfen ist, um mehrschichtige oder Multi-Stack-Substrate schnell und effizient zu verarbeiten. Mit seinen fortschrittlichen Abscheidungsfähigkeiten kann CONCEPT 2 Altus in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden, einschließlich der Herstellung von dünnen Schichten, High-K-Dielektrika und Zwischenschicht-Dielektrika. NOVELLUS CONCEPT 2 Altus verwendet eine hybride magnetisch gekoppelte Plasmaquelle, die kapazitiv gekoppelte Plasma- (CCP) und induktiv gekoppelte Plasmaquellen (ICP) für maximale Flexibilität und gleichbleibende Filmqualität kombiniert. Die proprietäre No-Mainframe-Power-Regelung des Reaktors hilft, Drift zu reduzieren und Prozessparameter über lange Laufzeiten konsistent zu halten, wodurch sichergestellt wird, dass jedes produzierte Gerät von höchster Qualität ist. CONCEPT 2 Altus ist hochgradig prozessanpassungsfähig und ermöglicht es dem Anwender, sich an eine Vielzahl von Prozessherausforderungen wie Keimbildung, Gleichmäßigkeit und Schrittabdeckung anzupassen. Das verbesserte Gasfördersystem ist so konzipiert, dass es eine schnelle Gasumschaltung und gleichmäßige Gasflussverteilungen über jedes Substrat ermöglicht. NOVELLUS CONCEPT 2 Altus kann durch Verwendung eines Schieberventils und proprietärer Präzisionsvorschaltgasmodule eine gleichmäßige Abscheidung über das gesamte Substrat bieten und sicherstellen, dass die hergestellten Folien eine optimale Schrittabdeckung und Gleichmäßigkeit aufweisen. Das CONCEPT 2 Altus verfügt auch über eine Reihe von Leinenkomponenten, einschließlich Einlass- und Auslassdruckregler, Quarzverstärker, Einstellwärmewiderstände und Thermoelement zur Temperaturregelung. Diese beeindruckende Auswahl an Funktionen sorgt für Gleichmäßigkeit und Präzision über die Substrate. NOVELLUS CONCEPT 2 Altus ist der ideale Reaktor für die Halbleiterherstellung. Es ist eine zuverlässige, kostengünstige und sehr anpassungsfähige Einheit, die gleichbleibend hochwertige Folien und eine optimale Schrittabdeckung über alle Substrate bietet. Mit seiner fortschrittlichen magnetisch gekoppelten Plasmaquelle, einer einstellbaren Gasfördermaschine und leistungsstarken Leinekomponenten ist CONCEPT 2 Altus das perfekte Werkzeug, um konstant zuverlässige Produkte und Einheitlichkeit zu gewährleisten.
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