Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #9377394 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Altus ist ein physikalischer PVD-Reaktor, der eine Abscheidung verschiedener Materialien auf Substraten ermöglicht. Es eignet sich für eine Reihe von Anwendungen, einschließlich der Abscheidung von Metallen, Halbleitern, Keramiken und dielektrischen Schichten niedriger k. Der Altus ist ein innovativ fortschrittliches PVD-Tool, das einen hohen Durchsatz und Flexibilität mit einer großen Auswahl an Folien und Materialabscheidungstechniken bietet. Der Altus hat ein hochmodernes Design, mit einer dualen linearmagnetischen Quellkonfiguration, einem Vakuumdruckbehälter und einer filamentlosen Prozesskammer. Die duale Linear-Magnet-Source-Konfiguration platziert die Materialquelle direkt in der Prozesskammer, wodurch ein Plasma entsteht, das hochenergetisch und gleichmäßig ist. Dieses Plasma ermöglicht die Abscheidung hochwertiger Folien mit präziser Steuerung der Foliendicke und Zusammensetzung. Der Vakuumdruckbehälter erhöht die Gleichmäßigkeit des Verfahrens weiter und ermöglicht eine Feinabstimmung der Prozessparameter. Die filamentlose Prozesskammer bietet überlegene Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit sowie eine verbesserte Prozessflexibilität. Es verfügt über hybridisierte Prozessoptionen, so dass Prozessparameter bei Bedarf ohne optische Charakterisierung des Materials vor der Abscheidung geändert werden können. Dadurch können mehrere Zielmaterialien und Abscheideprozesse ohne Systemänderungen eingesetzt werden. Das CONCEPT 2 Altus verfügt zudem über ein in situ optisches Emissionsspektroskopiesystem (OES). Die OES ermöglicht eine sofortige Überwachung des Plasmas, einschließlich Temperatur und Zusammensetzung, so dass Bediener Echtzeit-Anpassungen des Prozesses vornehmen können. Durch die Bereitstellung von Echtzeitdaten zur Abscheidung sorgt der Altus für eine gleichbleibend hochwertige Folie und reproduzierbare Leistung. Insgesamt ist NOVELLUS CONCEPT 2 Altus ein fortschrittlicher PVD-Reaktor, der für viele Anwendungen gut geeignet ist. Es bietet fortschrittliche Technologie, die eine präzise Kontrolle der Materialabscheidung bei minimaler optischer Charakterisierung des Zielmaterials ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht die fortschrittliche optische Emissionsspektroskopie in situ eine Echtzeit-Überwachung des Prozesses und sorgt für hochwertige, reproduzierbare Ergebnisse.