Gebraucht NOVELLUS Concept 2 Dual Altus Shrink #9242193 zu verkaufen

NOVELLUS Concept 2 Dual Altus Shrink
ID: 9242193
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2013
CVD System, 8" 2013 vintage.
NOVELLUS Concept 2 Dual Altus Schrumpfreaktor ist ein leistungsstarkes und vielseitiges Werkzeug für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dieses fortschrittliche Gerät ist perfekt für die Erstellung von leistungsstarken integrierten Schaltungsgeräten mit geringer Leistung. Es ist ein Zweikammer-Reaktor-Design, mit beiden Kammern für verschiedene Aufgaben gewidmet. Die obere Kammer ist zum Schrumpfätzen und die untere Kammer zum Niederleistungs-Richtätzen. Der Schrumpfätzvorgang in der oberen Kammer ermöglicht es, zweidimensionale Vorrichtungsmerkmale unter Beibehaltung ihrer Charakteristik zu verkleinern. Dies ist ein wichtiger Baustein bei der Herstellung kleiner, schnell integrierter Schaltungen. Der Prozess wird mit magnetisch verbesserten Plasmaquellen und hocheffizienten Dual-Prism-Ätzventilen durchgeführt, wodurch die Geräteeigenschaften schnell und bei geringem Stromverbrauch geätzt werden können. Die untere Kammer ist die Richtätzkammer. Diese Kammer nutzt die chemisch unterstützte Ionenimplantation (CAI) zur richtungsweisenden Entfernung von Material von der Oberfläche einer Vorrichtung. Dies ist nützlich, um Strukturen oder KEs wie dünne Verbindungsleitungen oder Kontaktlöcher zu strukturieren. Da das Verfahren sehr präzise ist, wird der Richtätzprozess dadurch wesentlich effizienter. Concept 2 Dual Altus Schrumpfreaktor erfordert regelmäßige Wartung und Rekalibrierung, um Spitzenleistung zu gewährleisten, und der Hersteller bietet technische Unterstützung, um dies zu ermöglichen. Reinigungslösungen stehen zur Verfügung, um Graphit und andere Partikel zu entfernen, die sich im Laufe der Zeit aufbauen können, und das anspruchsvolle Softwarepaket, das mit dem Gerät zur Verfügung steht, erleichtert die Kalibrierung und Wartung. Insgesamt ist der NOVELLUS Concept 2 Dual Altus Shrink Reaktor ein leistungsstarkes und flexibles Werkzeug für die Herstellung fortschrittlicher integrierter Schaltungsgeräte. Seine Kombination aus Schrumpfätz- und Richtätzfunktionen sowie seine benutzerfreundliche Wartungs- und Kalibriersoftware machen es zu einer idealen Wahl für Halbleiterbauelement-Konstrukteure.
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