Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express #9281506 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express (DSX) Reaktor ist eine spezialisierte, zweikammerige, einzelne Waferbearbeitungsanlage, die speziell für Anwendungen entwickelt wurde, die eine hohe Präzision, Wiederholbarkeit und Kontrolle erfordern. Die Konstruktion bietet zwei unterschiedliche Kammern mit isolierter Abscheidung und anderen Verarbeitungssystemen, die unabhängig oder gleichzeitig arbeiten können. Der DSX-Reaktor bietet eine der höchsten Prozesskontrolle und Präzision, die unter allen Prozesswerkzeugen zur Verfügung steht. Dies wird vor allem durch fortschrittliche Materialmanagement- und Prozesssteuerungstechnologien erreicht, einschließlich mehrerer unabhängiger Motorsteuerungen, die eine präzise Steuerung von Waferbewegungen und Prozessschritten ermöglichen. Darüber hinaus kann der DSX In-Wafer-Funktionen bis zu 45nm Auflösung mit minimalen Probe Störungen zu erkennen, und seine erweiterte Vakuum-Kammer-Controller kann genau überwachen und halten Niederdruck Bedingungen in Echtzeit. Das DSX-Netzwerk wurde entwickelt, um die Anzahl der Prozessgleichförmigkeitszyklen und Steuerungsprozessschritte zu optimieren. Die Rezeptoptimierungsfunktion ermöglicht es dem Benutzer, Rezepte zur Laufzeit zu ändern und neu zu optimieren. Dies bietet dem Anwender maximale Kontrolle über Prozessgleichmäßigkeit und Konsistenz bei der Anpassung von Prozessparametern in Echtzeit. Der DSX-Reaktor bietet auch mehrere Prozesswerkzeuge, wie Nassätzen, Trockenätzen und chemisch-physikalische Dampfabscheidung (CVD/PVD). Sein Nassätzsystem kann bis zu 10 verschiedene Chemikalien in einem einzigen Pod oder Tank verarbeiten, was eine maximale Ausbeute und Gleichmäßigkeit des Prozesses ermöglicht. Das CVD/PVD-Modul ist ideal für hohe Materialabscheideraten und eine präzise Steuerung, um eine sehr gleichmäßige Gerätestruktur zu erreichen. Die DSX-Einheit erfordert regelmäßige Wartung, einschließlich Aktivitäten wie Gasleitungsüberprüfung, chemische Installation und Nachschub und allgemeine Maschinenkonfiguration. Während dieses Prozesses sollte ein Techniker besonders darauf achten, die Integrität der Kammer und der Prozessleitungen zu überprüfen, bevor er zum nächsten Schritt fährt. Um die Sicherheit der Betreiber zu gewährleisten, bietet das DSX Schutz vor potenziell gefährlichen Dämpfen, Funken und Bränden und verfügt über ein integriertes Überwachungswerkzeug, um das Vorhandensein von Gasen und Partikeln zu überprüfen. Kurz gesagt, ist der Dual Sequel Express (DSX) -Reaktor CONCEPT 2 ein innovativer, doppelkammerartiger, einziger Wafer, der hochpräzise und wiederholbare Prozesse mit maximaler Kontrolle ermöglicht. Seine fortschrittlichen Motor- und Vakuumsteuerungen, Materialverwaltungsfunktionen, Rezeptoptimierung und Prozesswerkzeuge bieten Betreibern eine leistungsfähige und zuverlässige Plattform, um eine konsistente und erfolgreiche Verarbeitung zu gewährleisten.