Gebraucht NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel #9314381 zu verkaufen

ID: 9314381
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
CVD System, 8" Mainframe Gas box: Standard with dual divert Robot: Express dual blade Cool down: 3 Slots Endpoint: Dual wavelength endpoint Sequel chamber: Sequel express TEOS Sigma 6 TEOS Cabinet (2) Speed chambers PFEIFFER 1600L Turbo 2000 vintage.
NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel (auch als C2DSS bezeichnet) ist ein Reaktor für die Halbleiterverarbeitung. Es verwendet eine proprietäre Dual-Speed-Architektur, um eine überlegene Prozesssteuerung zu bieten, insbesondere mit hoch anspruchsvollen Materialien. Das C2DSS ist eine hocheffiziente, mehrzonige, numerisch gesteuerte chemische Reaktionsausrüstung, die eine präzise Temperaturregelung, Prozesskontrolle und Skalierbarkeit ermöglicht. Das System verfügt auch über eine erweiterte Vektorkontrollüberwachung aller Reaktionsparameter. Das C2DSS verfügt über eine Dual-Speed-Architektur, die es dem Bediener ermöglicht, je nach Anwendung zwischen zwei verschiedenen Prozessgeschwindigkeiten zu wechseln. Dies ermöglicht einen höheren Durchsatz ohne Einbußen bei der Prozesssteuerung. Dies hilft bei Anwendungen, bei denen komplexe physikalische Merkmale und Materialeigenschaften genau kontrolliert werden müssen. Das Gerät verfügt außerdem über Temperaturüberwachung und -steuerung, automatische Druckeinstellung und dynamische Leistungssteuerung zur Energieeinsparung. Das C2DSS ist für eine Vielzahl von Abscheideprozessen konzipiert und kann verschiedene Materialien verarbeiten, darunter Silizium, Silizid und Mehrschichtmaterialien. Sein ausgeklügeltes Design ermöglicht auch eine hervorragende Gleichmäßigkeit und geschlossene Prozesssteuerung. Darüber hinaus verfügt die Maschine über integrierte Sicherheitsfunktionen, einschließlich Prozessverriegelungen, automatischer Abschaltung und Vibrationsüberwachungen. Die fortschrittliche Temperaturregelung des C2DSS ist in der Lage, sehr hohe Temperaturen von bis zu 1000˚C bei optimaler Homogenität und Gleichmäßigkeit zu erreichen. Dies ermöglicht thermische Prozesse wie Gasphasenätzen, Trockenätzen und CVD-Epitaxie. Das Werkzeug verfügt auch über eine fortschrittliche Gasrückführung, die maximale Reaktionsstabilität und Sicherheit während des Betriebs bietet. Das C2DSS ist einfach zu bedienen und kann für unterschiedliche Anwendungsanforderungen schnell neu konfiguriert werden. Darüber hinaus kommt es mit einer breiten Palette von Zubehör und ist kompatibel mit verschiedenen Computer-aided Process Control (CPC) Software-Paketen. Das Modell ist vielseitig einsetzbar für Technologieentwicklung, Prozessoptimierung, Prozessintegration und Produktion. Insgesamt ist Concept 2 Dual Speed Sequel (C2DSS) ein leistungsstarker und vielseitiger Reaktor, der speziell für die Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Die Dual-Speed-Architektur, die fortschrittliche Temperaturregelung und die effiziente Handhabung verschiedener Materialien machen es zu einer zuverlässigen und präzisen Lösung für eine Vielzahl von Anwendungen.
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