Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed #293819863 zu verkaufen

ID: 293819863
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2006
HDP CVD System, 8" (2) Channels Perfluorinated chemicals (PFC) detoxification 2006 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed Reactor ist ein Werkzeug zur Herstellung von Halbleitern zur Aufdampfung von dünnen Schichten. Es ermöglicht die Abscheidung von Niedertemperatur- und Hochtemperaturfilmen und bietet eine schnelle und kostengünstige Lösung für die Abscheidung einer Vielzahl von Materialien. Der Reaktor besteht aus zwei Hauptelementen; die Source-Expansionskammer und die Depositionskammer. Die Quell-Expansionskammer enthält Hochtemperaturquellen zur Dampferzeugung (d.h. ein Filament) und ist von einem flüssigen Stickstoff enthaltenden Kühlmantel umgeben. Dadurch können die notwendigen Temperaturen für die Nieder- und Hochtemperatur-Dampfabscheidung innerhalb der Kammer aufrechterhalten werden. Die Kammer ist über einen Durchgang mit der Abscheidekammer verbunden, der die Übertragung der Dampfteilchen von der Source-Expansionskammer in die Abscheidekammer ermöglicht. Innerhalb der Abscheidekammer werden die Dampfteilchen den Bedingungen in der Umgebung unterworfen, die je nach den Anforderungen des durchzuführenden Abscheideprozesses variieren können. Diese Bedingungen in der Abscheidekammer ermöglichen die Abscheidung verschiedener Materialien, darunter Metalle, Oxide und Polymere. CONCEPT 2 Dual Speed Reactor hat auch eine Source-Extraktionskammer, die die kontrollierte Entfernung der Dampfpartikel aus der Kammer nach der Abscheidung ermöglicht. Dadurch wird die Reaktionszeit zwischen Quelle und Abscheidung minimiert, was einen schnellen und kostengünstigen Abscheidevorgang ermöglicht. Abschließend ist NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed Reactor ein effektives Werkzeug für die Dünnschichtabscheidung. Es verfügt über eine Hochtemperatur-Quelle-Expansionskammer mit flüssigem Stickstoff-Kühlmantel, einen Durchgang für die Dampfpartikelübertragung und eine Source-Extraktionskammer für die kontrollierte Dampfentfernung. Dieser Reaktor kann sowohl Nieder- als auch Hochtemperatur-Dampfabscheidung durchführen und ist eine kostengünstige und zeitsparende Lösung für die Abscheidung einer Vielzahl von Materialien.
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