Gebraucht NOVELLUS Concept 2 Dual Speed #9259411 zu verkaufen

NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Reaktor ist ein fortschrittliches reaktives Ionenätzwerkzeug (RIE), das zwei getrennte gepulste Plasmaspiegel verwendet, um eine höhere Ätzrate zu erreichen und gleichzeitig eine präzise Ätzselektivität zu erhalten. Es ist in der Lage, sowohl Ätz- als auch Abscheideprozesse in einer einzigen Anlage durchzuführen. Diese Kombination aus dual gepulsten Plasmaquellen und Ätz-/Abscheidekammertechnologie ermöglicht es dem Concept 2, sowohl dielektrische als auch Metallschichten mit präziser Prozesssteuerung und überlegenen Ergebnissen effektiv zu ätzen. Das Concept 2 ist ein industrietaugliches RIE-Werkzeug mit Dual-Speed, Dual-Frequency und Dual-pulsierender High-Density-Plasmaquelle. Dies ermöglicht eine chemische Reaktivität, Steuerung von Ionenneutralraten, Leistungsabstimmung und Modulation von Prozessgasen. Seine dual gepulsten Plasmaquellen können sowohl einzeln geladene als auch mehrfach geladene Arten erzeugen, die ein präzises Ätzen von Dielektrika und Metallen ermöglichen. Das Concept 2 bietet zudem eine flexible Prozesssteuerung mit beliebigen Wellenformen und Pulsbreiten. Die RIE-Technologie des Concept 2 ermöglicht auch das hochpräzise Ätzen verschiedener Materialien in einem System. Es hat Hardware integriert, um die Gleichmäßigkeit der Filmdicke, die Ätzglättung und die Musterprofilsteuerung effizient zu steuern. Das Concept 2 garantiert auch reproduzierbare Ätzraten, verfügt über eine Reihe von Prozesskammern und verwendet passivierte Reaktoren, um Verschmutzungen zu verhindern. Dies erfordert das Laden von Rezepturparametern, um die Wiederholbarkeit des Ätzprozesses zu gewährleisten. Die RIE-Technologie des Concept 2 ermöglicht das Ätzen verschiedener Materialien in einer Einheit für die Großserienfertigung. Es verfügt über ein breites Prozessfenster, das das Ätzen von dielektrischen und Metallschichten mit präziser Steuerung ermöglicht. Die Kurswaferbelastung der Maschine und die hohen Durchsatzmöglichkeiten machen sie ideal für die Serienproduktion. Darüber hinaus ist das Concept 2 hocheffizient und energieeffizient und nutzt geschlossene Kühler zur Reduzierung des Werkzeugstromverbrauchs. Dies macht es eine gute Wahl für jeden Produktionsprozess.