Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9256798 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9256798
Wafergröße: 8"
System, 8"
Process type: PEOX
(2) Chambers
LCD Monitor, 12.1"
Signal tower type: Front Mount
DLCM:
P166/64M Module controller
Cassette transfer: Shuttle type
TM Robot: Magnatran 7 003-1600-25
Indexer robot: Indexer type II
Motor type: Belt
Animatics: CDP2407-2
Arc bar: 26 Slots
Cassette mapping: Auto mapping
MKS 750B11TCE2GK 10 Torr Manometer
GRANVILLE PHILLIPS 275 Mini convectron
TYLAN ACX3200 Throttle valve controller
Slit valve type: Loadlock VAT/CH SMC
IOC: 27-10157-00 Ver4.1
CVD1:
ADVANCED ENERGY MN3150274-004 B RF Match network
View port left/Right
RF Distribution
Gas distribution
Mix bowl type: Not heated
(6) Shower heads
Heater block
Process chamber ring
MESC Flange
MKS 627A13TBC Manometer, 1000 Torr
MKS 627A11TBC Manometer, 10 Torr
UE PV48W-14 Switch, vacuum, atmosphere
UE E48W-H14 Switch, vacuum, 15 Torr
End point detector VM3200 Integrated dual wavelength EPD
(3) IOC: 27-10157-00 Ver 4.1
Controller, throttle valve
Interlock PCB, CVD 02-123072-00 Rev A
P166/64M Module controller
Water flow switch
Gate valve, Hi vac, 4"
Throttle valve
Spindle mechanism Ferrofluidic bellows type
Process chamber 4-line type: Vertical
Process chamber exhaust type: Vertical
EUROTHERM Temperature controller
Hastings gauge
ADVANCED ENERGY PDX 1400, P/N 27-028379-00 F/R C RF Generator
ADVANCED ENERGY RFG 5500, P/N 27-115617-00 F/R A Generator rack
CVD2:
ADVANCED ENERGY MN3150274-004 B RF Match network
View port left/Right
RF Distribution
Gas distribution
Mixbowl type: Temperature setting
(6) Shower heads
Heater block
Process chamber ring
MESC Flange
MKS 627A13TBC Manometer, 1000 Torr
MKS 627A11TBC Manometer, 10 Torr
UE PV48W-14 Switch, vacuum, atmosphere
UE E48W-H14 Switch, vacuum, 15 Torr
End point detector VM3200 Integrated dual wavelength EPD
(3) IOC: 27-10157-00 Ver 4.1
Controller, throttle valve
Interlock PCB, CVD 02-123072-00 Rev A
P166/64M Module controller
Water flow switch
Gate valve, Hi vac, 4"
Throttle valve
Spindle mechanism Ferrofluidic bellows type
Process chamber 4-line type: Vertical
Process chamber exhaust type: Vertical
EUROTHERM Temperature controller
Hastings gauge
ADVANCED ENERGY PDX 1400, P/N 27-028379-00 F/R C RF Generator
ADVANCED ENERGY RFG 5500, P/N 27-115617-00 F/R A Generator rack
CVD1 / CVD2:
MFC (AERA):
SiH4 / FC-7800CD, 1 SLM
N2 / FC-7800CD, 5 SLM
He / FC-7800CD, 10 SLM
NH3 / FC-7800CD, 10 SLM
O2 / FC-7800CD, 20 SLM
C2F6 / FC-7800CD, 5 SLM
N2O / FC-7800CD, 20 SLM
N2 / FC-7800CD, 10 SLM
SSD:
MSSD 01-132945-00 with UPS
Power:
208 VAC, 3 Phase, 5 wires, 50 Hz, 1000 kV
208 VAC (CVCF), Single phase, UPS 50 Hz, 20 A.
NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express ist ein fortschrittlicher Abscheidungsreaktor, der optimale Prozessflexibilität und maximale Betriebszeit für die Abscheidung von dielektrischen, Barriere- und Metallfolien bietet. Sein hocheffizientes Design ermöglicht einen schnelleren Waferdurchsatz bei deutlich höheren Filmabscheideraten. Der Reaktor verwendet eine Reihe von Rohrreaktoren, die speziell entwickelt wurden, um kostengünstige Prozessflexibilität und eine überlegene Kontrolle zu gewährleisten. Seine fortschrittlichen Funktionen umfassen Hochgeschwindigkeitspulsen, verringerte Zykluszeiten und die Fähigkeit, die Filmabscheidung und Gleichmäßigkeit über den Wafer genau zu verwalten. Der Reaktor weist eine rohrförmige Bearbeitungskammer auf, die in vier einzeln programmierbare Flussbereiche in ein durchgehendes Rohr unterteilt ist. Dadurch ist es möglich, mehrere Filme in einem einzigen Zyklus abzuscheiden oder verschiedene Schichten in verschiedenen Flussbereichen zu verarbeiten. Die Kammer ist in der Lage, Drücke von Vakuum bis Druck sowie Temperaturen von Raumtemperatur bis 500 ° C zu stützen. Darüber hinaus ermöglicht es die Handhabung von Wafern in horizontaler und vertikaler Ausrichtung. Der Reaktor verfügt über eine fortschrittliche Prozesssteuereinrichtung mit geschlossenem Regelkreis, die ein präzises Prozessmanagement zur Verwaltung der Abscheiderate, der Schichtgleichförmigkeit und des Abscheiderate-Profils ermöglicht. Es umfasst Algorithmen wie Feedback und Feedforward Control, die sicherstellen, dass all diese Aspekte während der Verarbeitung genau angepasst werden. Das System ermöglicht auch die Fernüberwachung und Steuerung des Prozesses. CONCEPT 2 Sequel Express wurde für niedrige Betriebskosten sowie erweiterte Sicherheitsfunktionen entwickelt. Es wurde entwickelt, um maximale Produktivität zu bieten und gleichzeitig mögliche Sicherheitsrisiken zu minimieren. Es ist mit einer Selbstschutzeinheit sowie Fehlerverhütung und Begrenzungsfunktionen ausgestattet, um einen sicheren Betrieb der Maschine jederzeit zu gewährleisten. Schließlich soll dieser Reaktor kostengünstige Folienabscheidungslösungen in kurzen Zykluszeiten liefern. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu unterstützen und ist in der Lage, Werkzeugsätze automatisch zu ändern, so dass es ein hoch konfigurierbares und vielseitiges Werkzeug. Mit seinen fortschrittlichen Steuerungs- und Sicherheitsfunktionen, dem hohen Waferdurchsatz und der Wirtschaftlichkeit ist NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express die ideale Wahl für eine Vielzahl von Abscheideanwendungen.
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