Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9259413 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express ist ein CVD-Reaktor, der für die Abscheidung spezieller Dünnschichtmaterialschichten auf Substraten in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Das Gerät ist in der Lage, Abscheideraten von 80 bis 160 nm/min, mit einer Scheibengröße von 300 mm oder größer. Es wird für Anwendungen wie intermetallische Barrieren, ultradünne Verbindungen und Liner-Anwendungen für Kupfer- und Wolfram-Metallisierungen verwendet. Der Reaktor nutzt die modernste SmartFlow™ Technologie, die eine präzise Steuerung der Abscheiderate und Prozessgleichförmigkeit ermöglicht. Das SmartFlow-Modul sorgt für eine hohe Gleichmäßigkeit über die gesamte Waferoberfläche und ermöglicht die Einstellung der Schichtdicke. Das System ist außerdem mit einer integrierten Kühleinheit ausgestattet, die eine präzise Temperaturoptimierung und Stabilisierung des Substrats während der Verarbeitung ermöglicht. CONCEPT 2 Sequel Express verfügt über ein doppelt programmierbares Gasventil und bietet eine Reihe von Optionen zur Anpassung der Durchflussmenge und Zusammensetzung. Dadurch können komplexe Materialschichten aus mehreren Verbundschichten gebildet werden. Die Maschine ist auch mit einer Niederdruck-Turbopumpe sowie einer Turbo-Molekularpumpe ausgestattet, die die Manipulation von Prozessen durch Aufrechterhaltung der Vakuumintegrität ermöglicht. Das Werkzeug ist mit einer erweiterten Multiplexfähigkeit ausgelegt, die eine gleichzeitige Bearbeitung mehrerer Substrate ermöglicht. Diese Technologie erhöht den Durchsatz und ermöglicht den Batch-Betrieb mehrerer Wafer. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express ist ein zuverlässiges Gerät, das hocheffiziente und konsistente Abscheideprozesse für die Halbleiterindustrie bietet. Seine erweiterten Funktionen bieten Benutzern die Werkzeuge, die sie benötigen, um hochwertige Materialschichten mit einer hohen Prozessgleichmäßigkeit zu erstellen.