Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9259415 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express ist ein Reaktor für die Halbleiterindustrie. Es ist ein kompaktes, Einzel-Wafer-Prozesswerkzeug mit einer in sich geschlossenen Kammer, die in der Lage ist, thermische chemische Dampfabscheidungsprozesse (CVD) einschließlich Niedertemperatur-Polysilizium, Siliziumnitrid, Siliziumoxid, Wolfram, Aluminium/Kupfer, Dielektrikum und andere Spezialitäten. CONCEPT 2 Sequel Express ist für eine optimale Prozessfähigkeit in einer kontrollierten Umgebung konzipiert und bietet zuverlässigen Betrieb und Gleichmäßigkeit sowie einen hohen Produktionsdurchsatz. Es ist auch für schnelle Zykluszeiten optimiert, die bis zu 8 Waferdurchmesser pro Minute laufen können. Das Werkzeug arbeitet mit einem relativ niedrigen Gesamtkammerdruck, typischerweise um 2 Torr, und ist mit einem Einweg-Ganzkeramik-Substratträger ausgebildet, wodurch Handhabungs- und Reinigungsprobleme beseitigt werden, die bei herkömmlichen Quarz-Suszeptor-Trägern üblicherweise auftreten. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express bietet zusätzliche Flexibilität durch die einfache Konfiguration von Front- und Back-End-Modulen. In Sachen Hardware nutzt CONCEPT 2 Sequel Express ein elektrostatisches Spannfutter zur verbesserten Gleichmäßigkeit und präzisen Regelung der Wafertemperatur. Ergänzt wird dies durch eine Regeleinrichtung für Temperatur, Position, Vakuum und Prozessgas. Weitere Komponenten sind Pumpsystem, Prozesskammer, Prozessgasanlagen, Prozessgefäß, Prozesswärmequelle, beheizte Abgase und Lastschlösser. Das fortschrittliche Design der NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express CVD-Kammer wurde entwickelt, um Prozessergebnisse zu optimieren, Kontaminationen zu reduzieren und den Durchsatz zu maximieren. Es ist auch mit Funktionen, die die Prozesssicherheit erhöhen, einschließlich einer aktiven Detektionseinheit für Prozessgasleckagen und einer Doppelisolierungspackung für die Anode konzipiert. CONCEPT 2 Sequel Express ist eine hochkonfigurierbare Maschine, die eine hervorragende Einheitlichkeit und Konsistenz sowie eine zuverlässige und wiederholbare Verarbeitung bietet. Sein einfaches Design sorgt für einfache Bedienung und Wartung, während die Fähigkeit, Module für bestimmte Aufgaben zu konfigurieren, Flexibilität für verschiedene Anwendungen bietet. All diese Eigenschaften machen NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express zu einem idealen Werkzeug für die CVD-Verarbeitung in der Halbleiterindustrie.