Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9362147 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express ist ein innovativer CVD-Reaktor, der speziell für die Herstellung integrierter Schaltkreisprodukte entwickelt wurde. CONCEPT 2 Sequel Express nutzt einige der neuesten Fortschritte in der Halbleiterherstellungstechnologie, um eine kostengünstige, leistungsstarke CVD-Plattform für die Verarbeitung von Wafern in ultra-kleiner Funktionsgröße anzubieten. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express verfügt über einen abnehmbaren Substrathalter mit einem großen Bewegungsbereich „X-Y“, der den schnellen Austausch von bis zu 10 Wafern in weniger als zwei Minuten ermöglicht. Dadurch wird die Handhabungszeit des Substrats reduziert und die Integrität des hochflüchtigen Produkts erhalten. Der Substrathalter verfügt über abnehmbare Einsätze, die eine substratspezifische Ausrichtung ermöglichen, um eine perfekte Foliengleichmäßigkeit und Haftung zu gewährleisten. Der Reaktor integriert auch intelligente Software, um optimierte Verarbeitungsbedingungen schnell und einfach aufzubauen. CONCEPT 2 Sequel Express enthält ein hochmotorisiertes Prozessmodul, das eine Reihe leistungsstarker Mehrkanal-Gaseinspritzventile verwendet, um die Gasverhältnisse und Gasströme präzise zu steuern. Das Prozessmodul beinhaltet auch einen Avotec® NOX® Computer-Controlled Process Sequenzer zur Steuerung des Gasflusses und zur automatischen Injektion von Antireaktionen, wenn unerwünschte Rückstände festgestellt werden. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express ist mit Pulsed Heat Tower Equipment (PHTS) und In-situ Reinigungssystemen ausgestattet, die einen qualitativ hochwertigen Prozess gewährleisten. Der PHTS wurde entwickelt, um eine breite Palette von Temperaturen mit hoher Genauigkeit zu liefern, was eine verbesserte Verarbeitung ermöglicht. Zur optimalen Abscheidung von Polysiliziumfolien gehört auch eine On-Module-Kühlmitteleinheit, die die Wafertemperatur exakt steuern kann. CONCEPT 2 Sequel Express verfügt auch über eine Reihe von verbesserten Sicherheitsfunktionen zum Schutz von Personal und Umwelt. Die Maschine enthält eine patentierte Niederdruck-Explosivpotentialvorrichtung (EPD), die das Risiko von Explosionen in der Kammer durch gefährlichen Gasaufbau effektiv eliminiert. Ein vollautomatisches Notabschaltwerkzeug ist auch zum Schutz des Personals bei katastrophalem Ausfall enthalten. Insgesamt ist der NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express Reaktor eine leistungsstarke CVD-Anlage, die entwickelt wurde, um einen äußerst zuverlässigen, kostengünstigen Abscheideprozess für die Produktion von Wafern mit extrem kleinen Funktionen zu liefern. Die erweiterten Funktionen und die intelligente Software des Modells ermöglichen eine verbesserte Leistung und Sicherheit und helfen Ihnen, die Produktivität Ihrer Fertigungsvorgänge zu maximieren.