Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #171833 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 171833
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
CVD with shrink process chamber, 8", 1999 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel ist ein CVD-Gerät (Chemical Vapor Deposition), das zur Abscheidung einer Reihe von Funktionsschichten für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es ist speziell für die hochvolumige Abscheidung mehrerer Stapel von dielektrischen, leitfähigen und Barrierematerialien in einer einzigen Substratbelichtung ausgelegt. Das System basiert auf einer Niederdruck-geschlossenen Reaktorkammer mit zwei unabhängig voneinander einstellbaren Gasquellen, die dem Substrat reaktive Strömung zuführen. Ein einzigartiges Zwei-Zonen-Reaktor-Design ermöglicht die sequentielle Abscheidung von zwei oder mehr Materialtypen oder Kombinationen; die Einheit passt automatisch Parameter wie Druckprofil, Temperatur, Gasfluss, Durchsatz und Dosierung an den verschiedenen Abscheidezonen an. CONCEPT 2 Sequel kann eine Vielzahl von Substraten verarbeiten, darunter Glas, Silizium, organische und anorganische Materialien sowie nicht standardmäßige Materialien, die eine beispiellose Flexibilität bei der Schaffung komplexer Mehrschichtstrukturen mit verbesserter Leistung ermöglichen. Die Maschine enthält ein proprietäres dielektrisches Abscheidungsmodul, das die Hochtemperatur-Abscheidung fortschrittlicher dielektrischer Schichten in einer einzigen Sequenz für beschleunigte Durchlaufzeiten ermöglicht. Für eine überlegene Dimensionssteuerung und verbesserte Leistungsmerkmale sind fortschrittliche Schichtprofile mit NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel erhältlich. Das Tool bietet zusätzliche Funktionen wie variable Frequenz, variable Leistung und variable Pulsbreitensteuerung für die detaillierte Anpassung von Abscheideprofilen. Die Cycle-Time Optimization Engine trägt dazu bei, die Automatisierung von Anlagen zu gewährleisten und den Durchsatz mit minimaler Prozesszeit zu steigern, indem Abscheidezyklen verfolgt und schnelle Reaktionsparameter entsprechend erzeugt werden. CONCEPT 2 Sequel ist eine leistungsfähige und zuverlässige Ausrüstung für die Herstellung einer Vielzahl von Mikrodevices, Displays und anderen innovativen Halbleiterbauelementen. Dieses zuverlässige Modell mit seinen vielfältigen Funktionen ist ein idealer Kandidat für jede Produktionsumgebung, in der höchste Präzision und Prozesskontrolle im Vordergrund stehen.
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