Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9188213 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel ist ein Hochleistungs-Ätzreaktor, der bei der Herstellung von Halbleiterchips verwendet wird. Es ist ideal für erhöhten Durchsatz, verbesserte Gleichmäßigkeit und schnellere Zykluszeiten bei dielektrischen, Polysilizium-, Wolfram- und Flachgraben-Isolierungsprozessen (STI). Das Concept 2 verfügt über eine Doppeldruck-Dual-Gas-Konfiguration, die es extrem effizient macht. Der höhere Schnellstartdruck ermöglicht relativ kurze Anfahrzykluszeiten, während der niedrigere Arbeitsdruck für einen optimalen Gas- und Partikelfluss sorgt, was zu geringeren Verarbeitungskosten führt. Das Concept 2 verfügt zudem über zwei frequenzgesteuerte HF-Generatoren, die eine feinere Steuerung des Ätzprozesses ermöglichen. Die dual-micromachined, Doppel-LED-Scanning-Ausrüstung sorgt für höchsten Durchsatz mit überlegenen Qualitätsergebnissen und erkennt selbst kleinste Schwankungen in Partikelgröße, Gleichmäßigkeit und Sputterraten. Der Mikrowellengenerator ermöglicht eine sofortige Erwärmung der Kammer auf die erforderliche Temperatur bei Inbetriebnahme und während des Betriebs. In Kombination mit dem hocheffizienten Gasfördersystem sorgt dies für höchsten Prozessdurchsatz und optimale Gleichmäßigkeit. Das Concept 2 verfügt zudem über eine Kühlplasma-Kaltwandkonstruktion, die eine überlegene Wärmeprofillösung rund um den zu ätzenden Bereich bietet. Dies senkt thermische Gradienten, fördert eine bessere Energieeinsparung, reduziert Kreuzkontaminationen und beseitigt Reflexionen und Zykluszeitstrafen durch mechanische Neigung und Scan. Darüber hinaus ermöglicht das Concept 2 schnelle Zugriffsfunktionen, die Wartung und Reparaturen vereinfachen. Die Plattform verfügt über ein integriertes Diagnosezentrum, mit dem Bediener Änderungen vornehmen und Anpassungen an der Einheit während des gesamten Herstellungsprozesses verfolgen können. Darüber hinaus ermöglicht die Echtzeit-Prozessüberwachungsmaschine den Bedienern die Überwachung der Waferätzqualität und der Prozessparameter. Insgesamt ist CONCEPT 2 Sequel ein idealer Reaktor für erhöhte Ausbeute, Durchsatz, Gleichmäßigkeit und Kosteneinsparungen bei der Herstellung von Halbleiterchips.