Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9250953 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel
Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT 2 Sequel
ID: 9250953
System.
NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel ist ein fortschrittlicher CVD-Reaktor, der entwickelt wurde, um die nächste Generation von IC-Fertigungsprozessen zu ermöglichen. Mit CONCEPT 2 Sequel hat NOVELLUS Corporation das Beste aus den bestehenden CVD-Technologien gewonnen und es mit verbesserten Funktionen kombiniert, um es zum zuverlässigsten und fortschrittlichsten Reaktor auf dem Markt zu machen. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel wurde mit einer extrem vielseitigen Konfiguration für eine Vielzahl von Anwendungen entwickelt. Es handelt sich um einen Einzelwafer-CVD-Reaktor, der sowohl parallel als auch parallel-plus betrieben werden kann, um einen optimalen Durchsatz oder eine optimale Gleichmäßigkeit zu ermöglichen. Hinsichtlich des physikalischen Designs von CONCEPT 2 Sequel wird der Wafer durch ein leistungsstarkes, mehrzoniges elektrostatisches Spannfutter zur Stabilisierung von Wafern in sehr gleichmäßigen thermischen Umgebungen gehalten. Der Reaktor verfügt auch über mehrere Ofenzonen, Hochpräzisionsheizungen und ein einzigartiges Hochdruckgasfördersystem, um eine konsistente Abscheidung auf jedem Wafer zu gewährleisten. Es hat auch einen In-situ-Reinigungsmechanismus, um zu verhindern, dass sich Kontaminationen entwickeln, sowie einen Abscheideschild, um die Folienbelastung zu minimieren. Neben seinem mechanischen Design ist NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel mit fortschrittlicher Software ausgestattet, die seine CVD-Prozessproduktivität maximiert. Merkmale dieser Software reichen von CVD-Prozesssteuerung, Rezeptentwicklung, Datenerfassung, Fehlererkennung und Alarme, und erweiterte Diagnosetests. Das zum Patent angemeldete NOVELLUS Control-Paket, das speziell für CONCEPT 2 Sequel entwickelt wurde, ist die robusteste, benutzerfreundlichste Software der Branche. Insgesamt ist NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel der fortschrittlichste und zuverlässigste CVD-Reaktor für die anspruchsvollsten Anwendungen. Seine Vielseitigkeit und breite Prozessfähigkeit, kombiniert mit seinen fortschrittlichen mechanischen und Software-Funktionen, machen es zur idealen Lösung, um höchste Qualität zu erreichen. Dieser CVD-Reaktor kann leicht mit engen Spezifikationen und Time-to-Market-Einschränkungen umgehen, so dass seine Kunden Halbleiterbauelemente mit der höchsten Zuverlässigkeit herstellen können.
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