Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9399068 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel
Hersteller
NOVELLUS
Modell
CONCEPT 2 Sequel
ID: 9399068
Wafergröße: 8"
CVD System, 8".
NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel ist ein CVD-Gerät (Chemical Vapor Deposition) für die Verarbeitung von Wafern. Der CONCEPT 2 Sequel Reaktor wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten Anforderungen an die Halbleiterherstellung zu erfüllen und bietet eine überlegene und präzise Kontrolle der Filmabscheidung während einer Vielzahl von Substrattemperaturen. Das System verwendet ein Heizsockelfundament, das eine zuverlässige und genaue Kontrolle der Substrattemperatur bis zu 1000 Grad Celsius ermöglicht. Es kann auch für Prozessdrücke bis 1 Torr konfiguriert werden. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel verfügt über ein innovatives Multi-Kolben-Design und ermöglicht die gleichzeitige Verwendung von Metall oder Metall-organischen Ausgangsmaterialien. Die in CONCEPT 2 Sequel verwendeten Prozessgase können entweder automatisch verteilt oder manuell gesteuert werden, was eine verbesserte Folieneinheitlichkeit und -dicke ermöglicht. Das geschlossene Offenkammerdesign ermöglicht eine einfache Montage in bestehenden Produktionslinien und eine optimale Temperaturbilanz innerhalb des Substrats. Es ermöglicht auch die Erfassung von Abwässern, die sonst die Atmosphäre verschmutzen würden. Neben der überlegenen Temperatur- und Druckregelung verfügt NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel auch über eine effiziente Gasstromregelung. Diese Maschine überwacht den Gasstrom innerhalb des Reaktors und kann den Druck und die Temperatur innerhalb des Substrats schnell einstellen. Darüber hinaus ist der Reaktor mit Programmen in der Semiconductor Manufacturing Execution Tool (SMES) -Software kompatibel, sodass der Benutzer die Performance des Assets einfach verfolgen kann. Der CONCEPT 2 Sequel Reaktor wurde mit der neuesten NOVELLUS-Technologie gebaut und ist äußerst zuverlässig und energieeffizient. Es verfügt auch über eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, die das Modell vor Gefahrstoffen, Hitze oder Druckstörungen schützen. Schließlich ist NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel besonders wartungsfreundlich und erfordert nur minimale Ausfallzeiten bei Wartungsbedarf.
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