Gebraucht NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM #9109574 zu verkaufen

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM ist ein fortschrittlicher, multifunktionaler CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition), der ein erhöhtes Maß an Geschwindigkeit, Durchsatz und Effizienz liefert. Es ist für Anwendungen mit hoher Dichte wie Kupfer, Rhodium und Aluminium konzipiert und enthält eine Reihe von Funktionen, um eine genaue Kontrolle der Abscheidungsbedingungen zu gewährleisten. Der Reaktor verwendet ein einzigartiges Trägerdesign, mit einem Dual-Speed-High-Fit-Gasverteiler, einer linearen Abtaststufe und einem einstellbaren direkten Flüssigkeitskühlmechanismus, um eine überlegene Temperaturgleichmäßigkeit zu gewährleisten. Der direkte Flüssigkeitskühlmechanismus ermöglicht eine schnelle Prozesskühlung und verhindert eine thermische Beschädigung des Substrats. CONCEPT 2 Speed DLCM besitzt auch eine halbdurchlässige Magnetfeld-Stoppschicht, die den Eintritt von Sauerstoff und anderen Gasen in die Abscheidezone begrenzt. Dieses Merkmal ermöglicht eine verbesserte Kontrolle der Abscheiderate und Gleichmäßigkeit. Das Novello NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM verfügt zudem über ein zweistufiges Mikrowellen-Plasmaentladungssystem, das eine präzise Steuerung der Ionisations- und Abscheidungsparameter ermöglicht. Die lineare Abtaststufe sorgt für eine schnelle und genaue Abtastung des reaktiven Gases und reduziert sowohl Gasphasenrauschen als auch Gasmischung. CONCEPT 2 Speed DLCM ist einfach zu bedienen und mit mehreren Funktionen zur präzisen Abscheidungssteuerung in hohem Maße programmierbar. Die Benutzeroberfläche ist einfach und intuitiv gestaltet, mit Touchscreen-Bedienelementen und großen grafischen LCD-Displays zur einfachen Überwachung von Abscheideparametern. Die Prozessparameter einschließlich Gasfluss, Temperatur, Druck und Mikrowellenfrequenz können in Echtzeit eingestellt werden, was eine hohe Kontrolle der Abscheidungsparameter ermöglicht. Schließlich nutzt NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM fortschrittliche Sicherheitsfunktionen für einen sicheren und konsistenten Betrieb. Es ist mit Interlock-Schaltungen ausgelegt, um Prozessreaktionen zu stoppen, wenn unerwartete Bedingungen erkannt werden. Darüber hinaus verwendet der Reaktor ein fortschrittliches Partikelüberwachungs- und Filtersystem, um die Sicherheit und Qualität des Abscheidungsprozesses zu verbessern. Insgesamt ist CONCEPT 2 Speed DLCM ein Hochleistungsabscheidungsreaktor, der die Abscheidung von Materialien hoher Dichte mit Geschwindigkeit und Präzision ermöglicht. Dieser Reaktor ist ideal für Verfahrensingenieure, Forschungswissenschaftler und akademische Labore, da er eine hervorragende Kontrolle der Abscheidungsparameter mit zuverlässigen Sicherheitsmerkmalen bietet.